Gebraucht TEGAL 903 #9076197 zu verkaufen

TEGAL 903 ist ein High-End-Ätz-/Ascher-Gerät auf Plasmabasis, das für das präzise und zuverlässige Ätzen/Aschen verschiedener Materialien wie Silizium, Galliumarsenid, Indiumphosphid und Silizium-on-Isolator (SOI) -Substrate verwendet wird. Dieses moderne Gerät verfügt über ein innovatives Design, das einen zuverlässigen, hochauflösenden elektrooptischen Scanner und eine optisch gesteuerte computergesteuerte Ätzkammer kombiniert. 903 ist ein All-in-One-System, das sowohl das Ätzen als auch das Aschen von Substraten ermöglicht und somit ideal für viele verschiedene Anwendungen geeignet ist. TEGAL 903 ist hochgenau und effizient, mit einer Auflösung von 1 Mikron, einer Präzision von 0,5 Mikron und einer Geschwindigkeit von 5 ms/Mikrometer Ätzen für dicke Materialien und 0,3 ms/Mikrometer Ätzen für dünne Materialien. Dadurch wird sichergestellt, dass alle Ätz-/Ascheprozesse so genau und konsistent wie möglich bleiben. Die Einheit kann auch eingestellt werden, um bis zu vier verschiedene Muster mit vier verschiedenen Ätzgasen zu handhaben. Dadurch kann der Anwender komplizierte, dreidimensionale Strukturen präzise und schnell erzeugen. 903 ist mit einem einzigartigen Plasmagenerator ausgestattet, der von einer Niederspannungsquelle gespeist wird. Dieser Generator wurde entwickelt, um einen stabilen Plasmastrahl für alle Prozesse zu erzeugen, der unabhängig vom Substrattyp konsistente Ergebnisse ermöglicht. Die Maschine besteht auch aus einer hochgenauen Computerschnittstelle, mit der präzise Parametereinstellungen schnell und einfach charakterisiert und verfeinert werden können. TEGAL 903 ist relativ einfach zu bedienen, da alle Operationen über das benutzerfreundliche Bedienfeld automatisiert werden können. Das Werkzeug verfügt über eingebaute Sicherheitsmerkmale, und die Ätzkammer ist an einem modularen Rahmen befestigt. Dieser Rahmen reduziert Vibrationen und Bewegung während des Betriebs und ermöglicht konstant genaue Prozesse. Darüber hinaus kommt 903 auch mit einer Vielzahl von optionalen Vakuumpumpsystemen, die verwendet werden können, um die gesamte Ätzzeit zu reduzieren. Insgesamt ist TEGAL 903 ein fortschrittliches Ätz-/Veraschungs-Asset, das sowohl Genauigkeit als auch Präzision zu einem erschwinglichen Preis bietet. Es kann eine Vielzahl verschiedener Prozesse und Substrattypen bewältigen, und sein intuitives Design ermöglicht es, auch komplexe Ätzprozesse schnell und fehlerfrei abzuschließen. 903 ist eine ideale Wahl für Anwender, die nach einer zuverlässigen, effizienten und kostengünstigen Ätz- und Aschelösung suchen.