Gebraucht TEGAL 903 #9152161 zu verkaufen

Hersteller
TEGAL
Modell
903
ID: 9152161
Wafergröße: 6"
Reactive ion etcher, 6".
TEGAL 903 ist ein Ätzer und Ascher, der eine fortschrittliche Plattform für die Herstellung integrierter Schaltungen mit höchster Zuverlässigkeit und Leistung bietet. Es ist eine zuverlässige Plattform, die Ätz- und Ascheprozesse mit konsistenter Wiederholbarkeit und Ausbeute über eine breite Palette von Halbleiterprozessparametern unterstützt. 903 verfügt über eine moderne Benutzeroberfläche (UI) und intuitive GUI, zusammen mit fortschrittlicher verteilter Speichertechnologie, matrixbasierten Rezepten und einer umfassenden Liste von Prozessparametern für Präzision und Steuerung, die eine flexible Plattform für eine Vielzahl von Prozessanforderungen bieten. Darüber hinaus bietet TEGAL 903 volle Prozessgleichmäßigkeit, schnelle Wiederherstellung mit engen Prozesskontrollspezifikationen und mehrätziger Prozessfähigkeit. 903 verfügt über eine robuste Haltbarkeit und zuverlässige Leistung über das gesamte Spektrum der Halbleiterherstellung, vom dielektrischen Polyzid bis zu RIE und Array-Ashing-Anwendungen. TEGAL 903 nutzt eine benutzerfreundliche grafische Oberfläche und bietet eine Reihe von Geräteautomatisierungsfunktionen, die schnell und einfach Rezepte für Ätz- und Aschevorgänge einrichten. Die verteilte Speichertechnologie des Systems gewährleistet zuverlässige und wiederholbare Muster von Produkten bis zu 2 µm bis zu 8 µm. 903 verfügt auch über Mehrfachprozessfähigkeit für mehrere Ätz- und Ascheoperationen, wie RIE-Anwendungen zur flachen Trenchisolierung (STI). Die robuste Steuerungs- und Datenerfassungseinheit (CDA) von TEGAL 903 bietet Präzision und Wiederholbarkeit, um die anspruchsvollsten Halbleiterverarbeitungsanforderungen zu erfüllen. Die fortschrittliche Architektur von 903 ermöglicht eine präzise Prozesssteuerung und vollständige Kontrolle aller Parameter während der Prozessabläufe. Es ist auch in der Lage, Prozessoptimierungen über die umfassende Process Data Acquisition Machine (PDS) oder über die Kommandozeile bereitzustellen. TEGAL 903 bietet überlegene Leistung und Wirtschaftlichkeit, wenn Gießerei- und Montagebetriebe hohe Ätz- und Veraschungskomplexität und Präzision erfordern. Es ist mit einer vollständigen Ergänzung von Steuerungen und Softwareprogrammen für den automatisierten und manuellen Betrieb ausgestattet, so dass Benutzer ihre Effizienz und Ertragsleistung optimieren können. Das oberste Ziel von 903 ist es, zuverlässige und kostengünstige Fertigungsprozesse für Endprodukte höchster Qualität bereitzustellen.
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