Gebraucht TEGAL 903 #9210306 zu verkaufen

TEGAL 903 ist eine einfache und kostengünstige Ätz-/Aschemaschine für die Herstellung hochwertiger Metalle und Verbindungen. Das System verwendet ein niederdruckmoduliertes CVD-Verfahren (Chemical Vapor Deposition), um hochreine Metalle, Legierungen und intermetallische Verbindungen herzustellen. Es verfügt über einen Prozesskammertemperaturbereich von bis zu 1000 ° C, eine große Auswahl an Gasen und Druckbereiche von bis zu 25 mbar. Der von 903 durchgeführte Ätz-/Aschevorgang beruht auf einer Kombination zweier wichtiger Schritte: der CVD-Bildung eines Schutzfilms auf dem interessierenden Substrat und der Asche zur Entfernung unerwünschter Rückstände aus dem Substrat. Das Gerät bietet auch die höchste Abscheidungsrate für CVD, sowie eine überlegene chemische Reinheit im Vergleich zu vielen anderen Systemen. Darüber hinaus wurde die Maschine so konzipiert, dass sie sehr wenig Platz in einem Labor oder Produktionsbereich beansprucht. Das Niederdruck-CVD-Werkzeug von TEGAL 903 bietet die höchsten verfügbaren Abscheideraten mit einer Abscheiderate von bis zu 6,5 nm/s und bis zu 30 nm/min, abhängig von den Materialien und den Prozessparametern. Darüber hinaus weist der Vermögenswert eine robuste Abscheidungsgleichförmigkeit von bis zu 99,95% mit einer Abscheidungsgenauigkeit von bis zu 0,02 Mikrometern auf. Dies gepaart mit ausgezeichneter Rate Reproduzierbarkeit macht es geeignet für die Erzielung einer ausgezeichneten Substrat-Oberflächenqualität und präzise Filmabscheidung. 903 verfügt über einen hochpräzisen, voll angetriebenen Substrathalter, der sich mit hohen Geschwindigkeiten von bis zu fünf Millimetern pro Minute bewegen kann, sowie eine Schutzkammer, um die Erzeugung von Vibrationen zu reduzieren, den Wärmeübergang auf das Substrat zu minimieren und das Modell vor Ozon- und Staubpartikeln zu schützen. Ferner ist eine zusätzliche Vakuumleitung an die Außenseite des sicheren Arbeitskammers angeschlossen, um die überschüssigen Gase zu evakuieren und unerwünschte Partikel aus dem Ätz-/Aschevorgang zu entfernen. TEGAL 903 verfügt zudem über eine Gasmischeinheit, die exakte stöchiometrische und nicht stöchiometrische Verhältnisse für die gasförmigen Inhaltsstoffe des Ätz-/Ascheprozesses ermöglicht. Das Gerät ist in der Lage, entsprechende Mengen mehrerer Gase in einem Zyklus zuzuführen, die genau nach den gewünschten Bedingungen und Parametern gesteuert werden können. Der Antriebsmechanismus ist auch luftgekühlt, um einen stabilen und zuverlässigen Betrieb zu gewährleisten. Abschließend ist 903 eine kostengünstige, effiziente und zuverlässige Ätz-/Ascheausrüstung mit überlegener Abscheidungsrate, Gleichmäßigkeit und Genauigkeit. Neben seiner Fähigkeit, präzise Gasmischung, robuste Prozesskontrolle und Schutz vor äußeren Schadstoffen anzubieten, ist das System eine ideale Wahl für Wissenschaftler und Ingenieure, die qualitativ hochwertige Metalle und Verbindungen herstellen möchten.