Gebraucht TEGAL 903 #9250122 zu verkaufen

TEGAL 903 ist ein Batch-Stil, Dampf-Phase Ätzer/Ascher in High-End-Dampf-Phase Ätzen und Aschen Anwendungen verwendet, die präzise Ergebnisse über große Mengen erfordern. Es verfügt über ein patentiertes Niedertemperaturverfahren (LTP) mit patentierter Plasma-basierter Vorläuferchemie, die eine tief geätzte Funktion mit optimierter Topographie liefert. Die Ausrüstung ist so konzipiert, dass sie eine Vielzahl von Prozessmodulen umfasst, um eine hohe Präzision bei Ätz-, Aufdampf- und Abscheidungsprozessen zu gewährleisten. Diese Module umfassen 3D-Ätzen, zeitgesteuertes Ätzen, fortgeschrittene Filmbildung, Atomschichtabscheidung und andere proprietäre Prozesse. 903 ist ein automatisiertes System, d.h. es kann programmiert werden, eine Reihe verschiedener Ätz- und Ascheprozesse durchzuführen, ohne das Gerät manuell einzustellen. Die Maschine ist mit mehreren Präzisionskomponenten und Automatisierungsmessungen ausgestattet, die ihre wiederholbare Leistung gewährleisten. Die Ausrüstung hat eine Reichweite von 1250 bis 2500 Watt Leistung, so dass es ideal für hochvolumige Ätz- und Ascheanwendungen ist. Das Gerät verfügt zudem über einen optionalen Turboimpulsantrieb, der es ermöglicht, noch höhere Leistungen zu betreiben und eine noch präzisere Ätztiefe bereitzustellen. TEGAL 903 verfügt über eine patentierte Temperaturkompensationstechnologie, mit der die Maschine ihre Leistungs- und Prozessparameter nach Bedarf anpassen kann, um eine konsistente Ätztiefe zu gewährleisten. Es verfügt auch über ein einzigartiges Gas Heaterflow (GHF) -Werkzeug, das eine sehr gleichmäßige Verteilung des Prozessgases liefert. Darüber hinaus arbeitet die Anlage bei niedriger Temperatur mit einer selbstjustierenden Wärmeplatte, die die Chancen reduziert, Gase in den Oberflächen des Gerätes einzufangen. Das Gerät umfasst eine Vielzahl von Optionen, darunter einen Bordrezeptmanager für die Programmierung von Ätz- und Ascherezepten sowie viele Analysetools zur Überwachung des Prozesses, einschließlich Kippwinkelbildgebung, SEM und Röntgenanalyse. Diese Tools ermöglichen es Benutzern, die Genauigkeit und Produktivität der Ausrüstung zu maximieren. Schließlich verfügt 903 über einen leistungsstarken vektorgetriebenen Motor für hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit. TEGAL 903 ist ein vielseitiger und präziser Ätzer/Ascher, der hervorragende Ergebnisse für hochvolumige Ätz- und Ascheanwendungen erzielen kann. Die breite Palette an Prozessmodulen, erweiterte Funktionen und anpassbare Optionen machen es zu einem idealen Werkzeug für eine Vielzahl von Ätz- und Veraschungsanforderungen.