Gebraucht TEGAL 903 #9265523 zu verkaufen

TEGAL 903 ist ein Ätzer/Ascher der 3. Generation, der von der TEGAL Corporation entworfen und hergestellt wurde. Es ist eine Zwei-Spray-Ausrüstung, die chemisches Ätzen mit chemischer Asche kombiniert, um einen neuartigen Schlüsselprozess für die Herstellung von Wafern zu liefern. 903-System bietet das Beste aus beiden Welten - präzise Ausrichtung jedes Gases aus der Zweisprühdüse und die Flexibilität, mehrere Parameter für chemisches Ätzen und chemisches Aschen separat zu steuern. Diese Eigenschaften ermöglichen eine Vielzahl von Prozesszielen, von der Zeit/Temperaturregelung bis hin zu komplexen Kombinationen von Gasen und Komponenten. TEGAL 903 wurde entwickelt, um zuverlässige Leistung und Hochgeschwindigkeitsdurchsatz zu bieten. Es ist in der Lage, bis zu 2 "(5 cm) Wafer in nur 15 Sekunden zu ätzen und zu aschen. Jeder Ätz-/Aschezyklus kann von 0,1 bis 2,0 ml gewählt werden, so dass der Benutzer den Grad der Ätz-/Ascheprozesse anpassen kann. Für verbesserte Ergebnisse kann die Einheit auch auf isobarische oder statistische Modellätz-/Aschezyklen eingestellt werden. 903 ist eine Hochleistungsmaschine, die mit digitalen Prozesssteuerungen, Temperatur- und Drucksensoren, Gesamtlastprüfungen und programmierbaren Logiksteuerungssystemen verbessert wird. Diese Funktionen ermöglichen volle Programmierbarkeit und Prozessautomatisierung. Das Tool verfügt auch über eine grafische Benutzeroberfläche, die Zugriff auf über 256 voreingestellte Rezepte bietet, sodass Benutzer Rezepte, die in früheren Installationen verwendet wurden, schnell neu erstellen können. Im Hinblick auf die Sicherheit ist TEGAL 903 so konzipiert, dass es den strengsten Standards der Branche entspricht. Es ist mit Überdruckschutz, antistatischen Entladungsvorrichtungen und Bogenfehlerverriegelungssystemen ausgestattet. Der Vermögenswert entspricht auch allen geltenden Sicherheitsstandards von UL, CSA und IEC. Abschließend ist 903 ein robuster und hochkonfigurierbarer Ätzer/Ascher. Mit einem Düsendesign mit zwei Prozessen, Hochgeschwindigkeitszykluszeiten, programmierbaren Betriebsparametern und einer intuitiven grafischen Benutzeroberfläche ist TEGAL 903 ein leistungsstarkes Werkzeug für die Herstellung von Wafern. Mit seiner hervorragenden Genauigkeit, Zuverlässigkeit und Sicherheit ist 903 die perfekte Wahl für eine Vielzahl von Prozessen.