Gebraucht TEGAL 903E Series #83010 zu verkaufen

TEGAL 903E Series Etcher/Asher ist eine fortschrittliche in-line chemische Ätzer und Ascher Ausrüstung für eine breite Palette von Anwendungen, einschließlich Halbleiterbauelementfertigung, Leiterplattenfertigung und MEMS-Bauelementherstellung verwendet. Das System ist so konzipiert, dass es mit Genauigkeit, Geschwindigkeit, Präzision und hoher Flexibilität geätzt und geascht wird. TEGAL 903E umfasst eine erweiterte xy-Achsen-Bewegungsstufe, eine hochauflösende optische Encodertabelle und eine PC/Windows/Software-Betriebsumgebung. Die Bewegungsstufe umfasst einen Langtakt-Linearantrieb und eine langlebige, wiederholbare Bühnenbewegung, die großflächige Ätz- und Ascheprozesse erleichtert. Die hochauflösende optische Encodertabelle bietet präzise, konsistente Positionierung und wiederholbare Bewegung, um genaues Ätzen und Aschen zu gewährleisten. Die PC/Windows/Software-Betriebsumgebung ist benutzerfreundlich und ermöglicht eine einfache und intuitive Steuerung des Geräts. TEGAL 903E verfügt über eine Mehrzonen-Vakuummaschine, die eine abgedichtete Umgebung zum Ätzen und Aschen bietet. Das Vakuumwerkzeug passt sich der Anzahl der benötigten Prozesse an und kann von Einzelzonen- bis zu Mehrzonenprozessen reichen. Darüber hinaus können mehrere Ätzrezepte in das Asset für verschiedene Prozesse programmiert werden, was einfache, wiederholbare Ätz- und Ascheprozesse ermöglicht. TEGAL 903E verfügt zudem über ein fortschrittliches Cool-GasTM Düsensteuerungsmodell, das eine präzise Steuerung des Gasstroms und des Druckniveaus ermöglicht, um die Steuerung des Ätz- und Ascheprozesses zu verbessern. Darüber hinaus umfasst das Gerät ein Wafer-Temperaturüberwachungs- und Rückkopplungssystem, das die Kühl-Gasdüsen-Bedingungen automatisch anpassen kann, um die Temperaturgenauigkeit und Stabilität des Substrats zu gewährleisten. TEGAL 903E umfasst auch erweiterte Netzwerkfunktionen. Das Gerät kann mit anderen Ätz- und Aschesystemen oder mit dem Prozesscomputer eines Kunden vernetzt werden, um eine einfache Prozessüberwachung und -steuerung zu ermöglichen. Zusätzlich kann die Maschine mit der vorhandenen Steuerungssoftware eines Kunden vernetzt werden, um sie in andere Inline-Verarbeitungssysteme zu integrieren. Insgesamt ist 903E Series Etcher/Asher ein fortschrittliches und zuverlässiges Ätz- und Aschewerkzeug für Anwendungen, die eine präzise Kontrolle und Wiederholbarkeit erfordern. Das Asset verfügt über eine Vielzahl von Funktionen und Funktionen, die Anwendern die Flexibilität bieten, das Ätzen und Auswerten mit Genauigkeit, Geschwindigkeit und Präzision durchzuführen.