Gebraucht TEGAL 903E Series #92424 zu verkaufen

TEGAL 903E Series ist eine revolutionäre Einkammer-Direktascher/Ätzer-Ausrüstung, die für die schnelle Bearbeitung von Wafern, Chips, Substraten und Materialien mit einem kritischen Fokus auf Präzision und Genauigkeit entwickelt wurde. TEGAL 903E basiert auf einer vollautomatischen Plattform, die die Steuerung von Prozessvariablen und Rezepten per Knopfdruck ermöglicht und eine überlegene Wiederholbarkeit der Ergebnisse ermöglicht. Mit nassen und trockenen Ätzprozessen ist TEGAL 903E das perfekte Werkzeug für die fortschrittliche Prozessentwicklung und Produktionstests im Halbleiter-, Nanotechnologie- und MEMS-Markt. Das 903E bietet durch seinen präzisen computergesteuerten Roboterarm und die präzise computergesteuerte Ätzkammer eine hervorragende Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Dieses System ist in der Lage, kleine Proben außerordentlich schnell mit hoher Genauigkeit zu bearbeiten. TEGAL 903E Ätzeinheit ist für Anwendungen mit hohem Durchsatz konzipiert, mit einer Prozesskammer, die auf die exakte Menge an Ätzlösung kalibriert ist. Eine extra große Reaktionskammer ermöglicht eine vollständige Abdeckung von Wafern und Proben, die eine maximale Ätzeffizienz ermöglicht. Das 903E verfügt zudem über eine einfache und benutzerfreundliche Touchscreen-Benutzeroberfläche mit integrierter Software und mehreren Steuerungssprachen. Alle Abschreck-, Ätz- und Trockenoperationen sind vollautomatisch und präzise und bieten eine solide Konsistenz und präzise Kontrolle des Prozesses. Mit TEGAL 903E können Anwender die Ätz- und Abscheideprozesse für bestimmte Materialien optimieren und Prozessrezepte anpassen. Wafer werden automatisch in TEGAL 903E geladen und entladen, wobei die Probenorientierung vollautomatisiert ist. Die einzigartige rotierende und vibrierende Probenfunktion trägt zur Minimierung der Partikelansammlung und der Oberflächenrauhigkeit bei. Das 903E beinhaltet auch ein fortschrittliches Abschreckverfahren, um Waferschäden und Rauheit nach dem Ätzen zu minimieren und gleichzeitig höhere Ätzraten und eine verbesserte Auflösung zu erzielen. 903E Serie ist eine leistungsstarke, All-in-One-Ätz- und Aschermaschine. Mit höherem Durchsatz, ausgezeichneter Präzision und Genauigkeit, verbesserter Wiederholbarkeit und vollständiger Automatisierung ist TEGAL 903E eine ideale Lösung für die schnelle Bearbeitung kleiner Proben für eine Vielzahl von Anwendungen. Sein überlegenes Abschreckverfahren bietet ausgezeichnete Waferintegrität, verbesserte Ätzraten und Auflösung, was zu hochwertigen, konsistenten Ergebnissen führt.