Gebraucht TEGAL 903E #293594316 zu verkaufen

TEGAL 903E ist ein einzigartiger Ätzer/Ascher, der einen integrierten Ansatz zum Aschen und Ätzen bietet. Es verfügt über zwei Formen der Waferätzung und zwei Formen der Asche für bessere Leistung und Zuverlässigkeit. Dieser Ätzer/Ascher ist in der Lage, mit verschiedenen Substraten zu arbeiten und hat die Fähigkeit, einschichtige und mehrschichtige Anwendungen zu verarbeiten. Das Gerät ist für den Betrieb mit einer einzigen Versorgungsspannung ausgelegt und hat sowohl Ätz- als auch Aschemodelle. Sie weist eine Bodenplatte auf, mit der der Wafer während der Ätzvorgänge getragen wird. Mit der Grundplatte ist ein Ring verbunden, der für Präzision und Gleichmäßigkeit des Ätzprozesses sorgt. Das Heizsystem von TEGAL 903 E wurde entwickelt, um eine gleichmäßige Temperatur aufrechtzuerhalten, um ein genaues Ätzen zu gewährleisten. Nach dem Ätzvorgang wird der Wafer auf eine vorbestimmte Temperatur abgekühlt, bevor er in die Asche geschickt wird. Die Asher-Komponente von 903E verfügt über zwei verschiedene Formen von Asher, aus denen je nach Anwendung zu wählen. Die erste Option ist ein schneller Ascher, der ideal für Anwendungen ist, die einen schnell abgeschlossenen Ätz- und Ascheprozess erfordern. Die zweite Option ist die langsame Asche, die ideal für höhere Präzisionsarbeit und langsamere Ätz- und Ascheprozesse ist. Beide Ashing-Optionen sind mit einstellbaren Temperatureinstellungen ausgestattet, so dass Benutzer die exakt gewünschten Ergebnisse für bestimmte Anwendungen erzielen können. Um die Ätz- und Ascheraten von 903 E zu erhöhen, gibt es zwei Multi-Sputteroptionen. Diese werden als Äquivalent zum Mehrfachätzen verwendet, da sie vor Beginn des Ätz- und Aschevorgangs eine erhöhte Menge Ätzgas gleichmäßig über den Wafer dispergieren können. Die Anoden- und Kathodennetze von TEGAL 903E sind darauf ausgelegt, eine optimale Ätz- und Ascheleistung zu gewährleisten, wobei die Netzteile einen steuerbaren Ätzprozess bieten. Schließlich ist TEGAL 903 E mit einer Computerschnittstelle ausgestattet, mit der Benutzer den gesamten Ätz- und Ascheprozess automatisieren können. Mit dem automatisierten Verfahren können schnell und präzise Ätz- und Aschenscheiben ohne nennenswerten Eingriff des Bedieners geätzt werden. Die Computeroberfläche ist einfach zu bedienen und zu programmieren, was bedeutet, dass Benutzer die vollständige Kontrolle über den gesamten Prozess haben. 903E ist ein effektives Ätz- und Aschesystem, das für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet ist.