Gebraucht TEGAL 903E #293745370 zu verkaufen

TEGAL 903E ist eine hochwertige Reaktivionenätzausrüstung (RIE), die von der TEGAL Corporation entwickelt wurde. Es ist in der Lage, ein präzises Ätzen einer Vielzahl von Materialien wie Silizium, Galliumarsenid, Quarz und anderen Materialien zu erreichen. Das System verfügt über eine große Kammer mit einem Volumen von 13 Litern, um ausreichend Platz zum Ätzen größerer Proben zu bieten. Es ist mit einem Hochleistungs-Mikrowellengenerator ausgestattet, der eine präzise Mikrowellenfrequenzregelung mit einer großen Auswahl an Frequenzen sowie eine Vorspannungsregelung ermöglicht, die es dem Benutzer ermöglicht, Substrate in einem gewünschten Winkel zu ätzen. Zusätzlich enthält das Gerät eine Argon-Plasmapistole mit 400MW Leistung, die darüber hinaus ein Präzisionsätzen ermöglicht und Kollateralschäden an Halbleiterscheiben verhindert. Die hohe Präzision der Ätzmaschine TEGAL 903 E wird ferner durch ihre Fähigkeit zur Steuerung des Werkzeugs bei 500-1000W der Leistung und ihre einstufige Hochvakuumkammer gewährleistet. Die Kammer ist in der Lage, Vakuumniveaus von 10-7 Torr zu erreichen, was eine überlegene Ätzrate und Wiederholbarkeit ermöglicht. Dazu gehört 903E ein automatisierter Workload-Manager, der die Automatisierung der Bestandssteuerung ermöglicht und die Vernetzung mit anderen Systemen ermöglicht. Dadurch können mehrere Programme in verschiedenen Kammern des Modells gleichzeitig durchgeführt werden. 903 E verfügt außerdem über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, um die Sicherheit der Betreiber und der Umwelt zu gewährleisten. Die Anlage ist mit einem Gasstabilisierungssystem ausgestattet, das eine präzise Steuerung von Ätzgasen ermöglicht. Es enthält auch einen Not-Aus-Schalter, der funktioniert, wenn eine Über- oder Extremtemperatur erkannt wird. TEGAL 903E Ätzer ist eine äußerst vielseitige und präzise Ätzeinheit, die sich für eine Vielzahl von Anwendungen sowohl in der Forschung als auch in der Industrie eignet. Seine Vielzahl an Funktionen und Sicherheitsmerkmalen machen es für eine Vielzahl von verschiedenen Ätzanforderungen geeignet.