Gebraucht TEGAL 903E #293766667 zu verkaufen

TEGAL 903E ist ein fortschrittliches Ätz-/Aschewerkzeug für die Herstellung von Halbleiter-, MEM- und Nanotechnologiegeräten. Es ist in der Lage, mehrstufige reaktive Ionenätzprozesse (RIE) und nasschemische Ätzprozesse (WCE) durchzuführen. Das Gerät ist mit einem Hochspannungsnetzteil, einem Plasmagenerator und einer langlebigen Ätzkammer ausgestattet. Die leistungsstarken Funktionen von TEGAL 903 E ermöglichen erweiterte Ätzanwendungen mit kritischen Seitenverhältnissen, hoher Seitenverhältnisätzung, anisotropem Nassätzen mit hohem Seitenverhältnis und fortschrittlichen Dotierungstechniken. Die Vakuumkammer von 903E ist für einen maximalen Innendruck von 1,5 mBar ausgelegt und hat ein Gesamt-Kammervolumen von 120 Litern. Es kann bis zu 12 Wafer gleichzeitig aufnehmen und ist mit einem speziellen DC/RF Dual-Mode-Plasmagenerator ausgestattet, der eine präzise Steuerung des Ätzprozesses ermöglicht. Die Gasförderleitung des Systems kann in einer Vielzahl von Ätzprozessen eingesetzt werden, wie z.B. Pulverätzen, reaktives Sputtern, chemische Dampfabscheidung (CVD) und reaktives Ionenätzen (RIE). 903 E ist auf langfristige Nutzung und Zuverlässigkeit ausgelegt. Die langlebige Kammer besteht aus einer Vollmetallkonstruktion, die für überlegene Ätzergebnisse sorgt. Die speziell entwickelte Gasförderleitung nutzt fortschrittliche Technologien wie Pulverinjektoren, Ventilsteuerungen, mehrere Gasflaschenschlitze und sicherheits-/explosionsgeschützte Absperrventile. TEGAL 903E bietet eine integrierte Temperaturregelung und eine präzise Endpunkterkennung zur präzisen Prozesssteuerung. Das Gerät ist kompatibel mit einer breiten Palette von Waferträgern, einschließlich Edelstahlpaletten und keramischen Trägerscheiben. Darüber hinaus ist die Maschine mit einer hochpräzisen Ätzsteuerungssoftware, dem TEGATEM, ausgestattet, mit der die Ätzprozessparameter feinjustiert werden können. Das Tool ist mit einer sicheren und benutzerfreundlichen Sicherheitsbestandteil ausgestattet und umfasst eine Vielzahl von Sicherheitsfunktionen, wie Anti-Stoßfänger, Gas-Sicherheitsabsperrventile, Fernbedienung Abschaltfunktionen, und die Fähigkeit, den Ätzer von einem entfernten Ort zu steuern. TEGAL 903 E wurde entwickelt, um die Anforderungen an spezialisierte Ätzprozesse in komplexen MEMS und nanotechnologischen Anwendungen zu erfüllen. Es ist ein ideales Werkzeug für eine Vielzahl von Ätzbedürfnissen.