Gebraucht TEGAL 903E #293824944 zu verkaufen

TEGAL 903E ist ein Ätzer/Ascher für Hochdurchsatzprozesse bei der Herstellung von Halbleitern und anderen elektronischen Materialien. Es ist zum Mischen, Ätzen und Aschen von dünnen Filmen, einschließlich dünner Filme aus Metallen, Legierungen, Oxiden und anderen Materialien, die in Halbleiterbauelementen verwendet werden, ausgelegt. TEGAL 903 E ist ein programmierbares, prozesskompatibles System. Es ist in der Lage, präzise Ätz- und Ascheprozesse mit unterschiedlichsten Parametern wie Kammerdruck, Ätzgasdurchfluss und Aschetemperatur zu erzeugen. Es verfügt über einen integrierten Prozesscontroller mit Überwachungssoftware, die eine einfache Möglichkeit bietet, den Prozess einzurichten und zu überwachen. 903E verwendet eine Doppelkammer-Konstruktion, die eine gleichzeitige Verarbeitung sowohl im Ätz- als auch im Ashing-Modus ermöglicht. Der Ätzvorgang wird in der linken Kammer durchgeführt, während das Aschen in der rechten Kammer durchgeführt wird. Die Vorrichtung weist einen 3-stufigen Hubarm auf, der ein einfaches Aufsetzen der Probe auf die Prozessstufen ermöglicht. Der Ätzprozess wird mit reaktiven Ionen durchgeführt. Das Ätzgas wird in die untere Kammer eingeleitet und das ionisierte Gas dann durch das elektrische Feld auf das Substrat beschleunigt. Die Energie der Ionen bewirkt den Ätzvorgang und die Ätztiefe kann durch Änderung der Leistung des elektrischen Feldes verändert werden. Der Aschevorgang erfolgt in der oberen Kammer, wo ein oxidierendes Gas eingeleitet wird. Zur Erzeugung von Wärme wird eine Hochfrequenzstromquelle verwendet, die den Oxidationsprozess bewirkt. Anschließend wird das Gas aus der Kammer herausgespült, wobei eine ashte Probe verbleibt. Die Temperatur der Asche kann variiert werden, um die Oxidationsgeschwindigkeit und die Tiefe des Aschevorgangs zu verändern. Die beiden Kammern und der Hubarm bieten die Flexibilität, mehrstufige Ätz- und Ascheprozesse durchzuführen. Das Gerät ist auch mit Kammeransichten und einem digitalen Abbildungssystem ausgestattet, das eine einfache Fehlerbehebung und Beobachtung des Prozesses ermöglicht, ohne dass die Kammer geöffnet werden muss. 903 E ist ein einfach zu bedienender Ätzer/Ascher, der präzise Prozesse und eine breite Palette von Parametern zum Ätzen und Aschen von dünnen Filmen bietet. Das Doppelkammerdesign und der Hubarm bieten Flexibilität für mehrstufige Prozesse und eine einfache Probenplatzierung. Die eingebaute Prozesssteuerung, Kammeransichten und das digitale Bildgebungssystem machen es zudem einfach, den Prozess zu überwachen und zu beobachten.