Gebraucht TEGAL 903E #293827709 zu verkaufen

TEGAL 903E Ätzer oder Ascher ist eine hochwertige, produktionsfähige Ausrüstung, die speziell entwickelt wurde, um verschiedene dünne Filme, Schichten und Strukturen in verschiedenen Halbleiterherstellungsprozessen schnell abzuscheiden und zu entfernen. Es nutzt die neuesten Technologien, um qualitativ hochwertige Ergebnisse in einer Reihe von Anwendungen zu liefern, wie Abscheidung von dünnen Schichten, Wafer-Level Fine-Pitch Vias, Präzisionsätzen von Gruben und Gräben und implantierten Dotierstoffen. Die Maschine basiert auf der MEMS-Plattform (Micro-Electromechanical Systems) und verwendet ein patentiertes, laserinduziertes thermisches Ätzen (LITE) -Verfahren, um dünne Filme mit einer dicken Schicht von 10 bis 100 Nanometern abzuscheiden und zu entfernen. TEGAL 903 E bietet auch ein Prozessfenster so klein wie zwei Nanometer. 903E ist darauf ausgelegt, große Produktionsmengen auf einem einzigen Wafer zu verarbeiten und kann Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 8 "verarbeiten. Es unterstützt auch eine breite Palette von Losgrößen von fünf bis zu 40 Wafern pro Charge. Die Maschine ist mit einer Transferkammer mit einer Auswahl an Trägerrohren, Drehkarussell oder Shuttles und schnellem Be- und Entladen von Wafern ausgestattet. Auf diese Weise kann 903 E verschiedene Wafergrößen, Formen und Topologien bei minimaler Rüstzeit schnell und präzise übertragen. Der Ätzer/Ascher ist vollautomatisiert und SPS-gesteuert und verfügt über eine dynamische Grafikoberfläche. Auf diese Weise können Ingenieure und Bediener die Maschine schnell einrichten und den Fortschritt während des Ätz- und Abscheidungsprozesses genau überwachen. Die Maschine bietet auch eine Reihe von Prozessüberwachungs- und Steuerungsfunktionen, wie Überwachung des Gasflusses, Temperaturregelung und Druckrückkopplung. TEGAL 903E bietet auch eine Reihe von Sicherheitsfunktionen, wie Notabschaltung und automatisierte Waferentfernung, bei Problemen. TEGAL 903 E ist mit einem hochauflösenden Bildgebungssystem ausgestattet, das eine Echtzeitmessung der abgeschiedenen Schichten und geätzten Funktionen ermöglicht und eine hohe Kontrolle und Genauigkeit im Ätz- und Abscheidungsprozess ermöglicht. Das Gerät ist zudem mit einem fortschrittlichen Softwarepaket ausgestattet, das ein umfangreiches Spektrum an Prozessrezepten bietet und eine weitere Prozesssteuerung und -optimierung ermöglicht. Abschließend ist 903E Ätzer/Ascher eine hochwertige, funktionsreiche Maschine mit einem kostengünstigen Design. Es ist in der Lage, dünne Folien, Schichten und Strukturen von hoher Präzision zu schaffen, die hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit in Anwendungen wie Abscheidung von dünnen Schichten, Wafer-Ebene Feinteilung Vias und Präzisionsätzen von Gruben und Gräben ermöglichen. Das automatisierte und SPS-gesteuerte Design sowie eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen und Echtzeit-Messfähigkeiten machen 903 E zu einer idealen Wahl für verschiedene Halbleiterherstellungsprozesse.