Gebraucht TEGAL 903E #293827885 zu verkaufen

TEGAL 903E (Etch/Ash) ist ein hochentwickeltes und vielseitiges Ätz- und Aschesystem, das in Halbleiterherstellungsprozessen eingesetzt wird. TEGAL 903 E ist bekannt für seine Zuverlässigkeit und Skalierbarkeit und ist damit ein anerkanntes Werkzeug in der Branche. 903E Ätz-/Ascheeinheit verfügt über eine integrierte chemische Abgabemaschine, die eine Reihe chemischer Quellen, Einlass- und Auslasskrümmer sowie zwei Gasmischer umfasst. Dies gewährleistet eine genaue chemische Konzentration und Lieferung während des gesamten Ätz- oder Ascheprozesses. Das Ätz-/Aschewerkzeug verfügt zudem über eine große Waferplattform, die Wafer bis 350 x 350 mm aufnehmen kann. Diese Plattform ist mit einer Wafer-Orientierungskarte und einer Sonde ausgestattet, die jede Wafer-Position genau indiziert. Neben der integrierten Chemikalienlieferung verfügt 903 E auch über eine elektronisch gesteuerte Kammer, die sowohl für Ätz- als auch für Ascheanwendungen konzipiert wurde. Die Kammer ist für eine zuverlässige, wiederholbare Ätz- oder Ascheumgebung ausgelegt und kann für verschiedene Anwendungen präzise eingestellt werden. Darüber hinaus sorgt die E-Spannfutterkonstruktion für ein gleichmäßiges Vakuum und eine wiederholbare, gleichmäßige Magnetkraft. TEGAL 903E wurde für hochauflösendes Ätzen oder Aschen entwickelt - mit Funktionen, die eine hervorragende Prozessgleichförmigkeit und Wiederholbarkeit bieten. Der Elektronenstrahl, der einstellbare Kammerverschluss und die Autofokusfähigkeit tragen dazu bei, dass die Mustergenauigkeit während des gesamten Prozesses erhalten bleibt. TEGAL 903 E verfügt auch über ein robustes, benutzerfreundliches Steuerungsmodell, mit dem Benutzer Ätz-/Ascherezepte programmieren und fertige Rezepte für zukünftige Referenzen speichern können. Darüber hinaus können Anwender den Prozess überwachen und Rezepte und andere Parameter während der Ätz- und Ascheprozesse verfolgen. 903E ist ein hochentwickeltes Ätz- und Aschesystem, das sich perfekt für Anwendungen in der Halbleiterindustrie eignet. Seine vielen erweiterten Funktionen gewährleisten höchste Genauigkeit und Gleichmäßigkeit für Ätz- und Ascheanwendungen. Die Zuverlässigkeit des Geräts, kombiniert mit seiner Skalierbarkeit und ausgezeichneten Prozessgleichmäßigkeit, machen es zu einer idealen Wahl für viele Ätz- oder Ascheanwendungen.