Gebraucht TEGAL 903E #293828280 zu verkaufen

Hersteller
TEGAL
Modell
903E
ID: 293828280
Wafergröße: 4"
Etcher, 4" SPEC-0092 D40BCS Neslab CFT 33 ENI ACG 10.
TEGAL 903E ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher, der den Anforderungen unterschiedlichster Anwendungen gerecht wird. Diese robust gebaute Ausrüstung verfügt über hocheffiziente Ätz- und Aschefunktionen und ist damit die perfekte Wahl für den industriellen Einsatz. Durch die Kombination von zuverlässiger Leistung und präziser Steuerung ist TEGAL 903 E eine kostengünstige Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen. 903E ist ein Zweikammersystem, das eine Zweipositions-, Mehrfachgewehreinheit und eine fest zentrierende, variabel ätzbare Waffenkonfiguration umfasst. Die Zwei-Positionen-Geschützeinheit ermöglicht die präzise Steuerung von zwei Ätz- oder Aschepistolen gleichzeitig, wodurch der Benutzer mehrere Prozesse in derselben Kammer durchführen kann. Die fest zentrierende, variabel ätzbare Kanonenkonfiguration vergrößert den Steuerungs- und Anwendungsbereich von 903 E weiter und ermöglicht präzise Variationen von Ätz- oder Ascheparametern. TEGAL 903E ist in der Lage, Siliziumsubstrate bis zu 8 "Quadrat mit hoher Genauigkeit zu ätzen/zu aschen. Es verfügt auch über eine computergesteuerte Reverse-Biasing-HF-Quelle, die in der Lage ist, den Ätz- oder Ascheprozess genau zu steuern. TEGAL 903 E wurde entwickelt, um auch nach mehreren identischen Läufen konsistente Ergebnisse zu gewährleisten. Ein in-situ HF-Monitor ermöglicht es dem Benutzer, die HF-Quell- und Prozessparameter während der Ätz- und Ascheprozesse zu überprüfen und Einblicke in mögliche Auffälligkeiten zu geben, die während des Prozesses auftreten können. 903E bietet eine Reihe nützlicher Prozesssteuerungsfunktionen. Die Einheit kann so programmiert werden, dass sie voreingestellte Ätz- oder Aschetiefen sowie unterschiedliche Tiefen zu strukturierten Bereichen durchführt. Die Maschine enthält auch einen dynamischen Bereich von Prozessparametern, die feine Anpassungen des Ätz- oder Ascheprozesses ermöglichen. Diese Prozesssteuerungen bieten eine hohe Zuverlässigkeit, so dass der Benutzer wiederholbare Ergebnisse erzielen kann. 903 E ist aus Qualitäts-Komponenten und Materialien, so dass es ein sehr langlebiges Werkzeug. Das Gut kann einer Vielzahl von Umgebungsbedingungen standhalten, einschließlich Temperaturschwankungen und der Exposition gegenüber Säuren, Basen oder Lösungsmitteln. Das Modell verfügt auch über eine automatische Abschalteinrichtung, die TEGAL- 903E vor Überhitzung schützt. Insgesamt ist TEGAL 903 E ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der auf die Bedürfnisse der industriellen Anwender zugeschnitten ist. Es verfügt über ein robustes Design, präzise Steuerung und zuverlässige Leistung, so dass es eine ausgezeichnete Wahl für eine breite Palette von Anwendungen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor