Gebraucht TEGAL 903E #293828282 zu verkaufen

TEGAL 903E ist ein Ätzer oder Ascher, der für Anwendungen mit plasmaverbesserter chemischer Dampfabscheidung (PECVD) entwickelt wurde. Dieses Gerät ist in der Lage, Muster mit hohem Seitenverhältnis mit überlegener Leistung über einen breiten Prozessbereich zu erstellen. TEGAL 903 E ist für eine präzise Plasmakontrolle ausgelegt und kann eine präzise Ablagerungsschicht mit einem Muster mit hohem Seitenverhältnis bilden. Die Technologie in 903E ermöglicht es, überlegene Ätzergebnisse über einen weiten Druckbereich zu liefern. Es umfasst ein selbstjustierendes, genaues Plasmaabgabesystem und eine präzise modellbasierte Steuerungstechnik. Das Gerät nutzt seine proprietäre Hochenergie-Plasmatechnologie, um ein dichtes, gleichmäßiges und hochenergetisches Plasma für seine Ätzprozesse zu erzeugen. Dies führt zu Mustern mit hohem Seitenverhältnis mit höherer Durchbruchgeschwindigkeit, Oberflächengenauigkeit und Ätzgleichmäßigkeit. Neben Hochleistungs-Plasmaätzen ist 903 E auch eine hocheffiziente Maschine. Es verwendet seine MASCOT (Mixed Aspect Ratio Control and Optimization Technology), die dazu beiträgt, den Materialverbrauch und die Zykluszeit zu reduzieren. Diese Technologie ermöglicht eine hochpräzise Abscheidung sowie das Abschirmen unnötiger Materialien vom Substrat. TEGAL 903E umfasst auch ein patentiertes Laserabschlusswerkzeug, das Prozessgaskondensation und Schäden durch thermische Beanspruchung verhindert. Mit diesem Asset kann das Modell schnell und präzise ein gut definiertes Muster mit hohem Seitenverhältnis erstellen. TEGAL 903 E bietet auch erweiterte messtechnische Funktionen wie hochauflösende Bildaufnahme, Echtzeitüberwachung, Musterreproduzierbarkeit und Langlebigkeitskontrolle. Diese integrierten Funktionen ermöglichen es dem Gerät, Parameter wie Temperatur, Druck, Timing und Ätzgeschwindigkeit schnell anzupassen. Darüber hinaus ist 903E auf die Sicherheit und Einhaltung globaler Sicherheitsstandards ausgelegt. Es verfügt über ein hochsicheres Betriebssystem mit passwortgeschütztem Zugriff sowie automatische Abschalt- und erweiterte Selbsttestfunktionen. Abschließend ist 903 E ein fortschrittlicher Ätzer, der für Hochleistungs-Plasmaätz- und Abscheidungsanwendungen entwickelt wurde. Es bietet überlegene Leistung über ein breites Prozessspektrum und ist dank seiner MASCOT-Technologie effizient. Darüber hinaus verfügt es über erweiterte messtechnische Fähigkeiten, Laserabschlusseinheit und ist auch mit Blick auf die Sicherheit konzipiert.