Gebraucht TEGAL 903E #33638 zu verkaufen
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TEGAL 903E ist eine Ascher/Ätzer-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um dünne Filme auf einer Vielzahl von Materialien und Substraten wie Silizium, Saphir, Siliziumnitrid und Siliziumoxid genau und effizient zu ätzen, zu verarbeiten und abzuscheiden. Die erste Stufe des Ätz- und Verarbeitungsprozesses ist die Substratvorverarbeitung. Dies geschieht durch die Pre-Wet Station, die vier Reinigungslösungsmittel und Filter verwendet, um Verunreinigungen aus dem Substrat vor dem Ätzen zu entfernen. Das Substrat wird dann zur Vorwärme auf die Kochplatte geladen. TEGAL 903 E hat eine superlineare Ätzquelle namens E-Beam, um Dünnschichtmuster zu ätzen. Diese Quelle erzeugt ein stark anisotropes Ätzen des Substrats und behält kritische Merkmalsgrößen und elektrische Eigenschaften bei. 903E verwendet ein proprietäres LLA™ Source-Werkzeug, um dünne Filme auf dem Substrat abzuscheiden und mit einem Klebstoff zu verbinden. Dieser Abscheidungsprozess gewährleistet die gleichbleibende und gleichbleibende Qualität des Fertigproduktes. Der Ätz-/Abscheidevorgang ist ein Regelsystem zur Optimierung der Gleichmäßigkeit der Folienabscheidung. Es kann in Echtzeit eingestellt werden, um Parameter wie Zeit, Geschwindigkeit und Druck zu steuern und gleichzeitig die höchste Präzision zu liefern. 903 E kommt mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen und wurde entwickelt, um Arbeiter vor Verletzungen zu schützen. Das Steuergerät nutzt Sicherheitsabschaltmechanismen, um Überlastung und Überhitzung zu vermeiden. Die Maschine wird mit einer eingebauten Brandmeldeanlage geliefert und ist mit explosionsgeschützten Gehäusen ausgestattet. TEGAL 903E ist eine effiziente und zuverlässige Maschine zum Ätzen und Bearbeiten einer Vielzahl von Substraten und dünnen Schichten. Sein Regelwerkzeug ermöglicht einen wiederholbaren und präzise gesteuerten Ätz-/Abscheidevorgang, während seine Sicherheitsmerkmale dem Bediener ein Höchstmaß an Schutz bieten.
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