Gebraucht TEGAL 903E #9004065 zu verkaufen

TEGAL 903E ist eine Ätzanlage, die speziell für die Herstellung von Submikronphotolithographie entwickelt wurde. Mit seiner 6-Zoll-Waferkapazität und einer ganzen Reihe von Funktionen ist TEGAL 903 E eine ideale Wahl für fortschrittliche lithografische Anforderungen. 903E verfügt über einen robusten, modularen Aufbau mit einem hochauflösenden Bilderzeugungssystem und einer dedizierten hochpräzisen XY-Bühne. Die XY-Stufe bewegt den Wafer in diskreten Schritten und ermöglicht das hochgenaue Ätzen von Photomasken, Graustufenmasken und Arrays beliebiger Komplexität. 903 E kann mit einer Vielzahl von Medien, einschließlich Silizium, Chrom, Wolfram und Gold, sowie Photopolymeren, die für negative Photoresist. Das Verfahren kann auf eine bestimmte Schichtdicke und kristallographische Orientierung der gewünschten Struktur abgestimmt werden. Darüber hinaus kann die Einheit so konfiguriert sein, dass sie eine Reihe plasmabasierter Prozesse umfasst, wie plasmaverstärkte chemische Dampfabscheidung (PECVD). TEGAL 903E ist mit leistungsstarken Tools zur Datenanalyse und -manipulation ausgestattet. Dies bietet Benutzern die Möglichkeit, Ätzergebnisse in Echtzeit zu vergleichen und unterstützt die Entwicklung benutzerdefinierter Fertigungsverfahren. Eine Vielzahl von Bildern kann in Echtzeit auf dem Monitor der Maschine angezeigt werden, und präzise Anpassungen in der Musterorientierung und Wiederholbarkeit können mit Leichtigkeit vorgenommen werden. TEGAL 903 E ist sehr zuverlässig, mit 25 ppm Verarbeitungsgeschwindigkeit und einem minimierten Wartungsbedarf. Es ist mit einem Sicherheitsverriegelungswerkzeug und Umgebungsüberwachungsfunktionen ausgestattet, um das höchste Maß an Sicherheit für den Benutzer und die Maschine zu gewährleisten. Schließlich verfügt 903E über eine Suite benutzerfreundlicher Software, die den Benutzern eine intuitive Kontrolle über die Funktionen des Asset bietet. Mit seinem breiten Spektrum an Funktionen ist 903 E eine ausgezeichnete Wahl für jede fortschrittliche lithographische Anwendung.