Gebraucht TEGAL 903E #9113440 zu verkaufen
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TEGAL 903E ist eine diodengepumpte Festkörper-Ätzvorrichtung (DPSS), die entwickelt wurde, um den Anforderungen hochdurchsetzter, hochvolumiger erweiterter Verpackungsanwendungen gerecht zu werden. Dieser Ätzer ist mit innovativen Funktionen und Technologien ausgestattet, die eine wiederholbare und zuverlässige Leistung gewährleisten. TEGAL 903 E wurde entwickelt, um schnelles thermisches Radfahren und schnelles Ätzen zu ermöglichen, ohne die Genauigkeit oder Wiederholbarkeit zu beeinträchtigen. Das System ist in der Lage, eine Vielzahl von Substratmaterialien einschließlich FR-4, FR-5, Polyimid, HF-Materialien, Quarz, Kunststoff und Metalle zu ätzen. Es kann auch für die 3D-Mikrobearbeitung und Metallisierung von Kunststoff- und Hartsubstraten verwendet werden. 903E verfügt über ein patentiertes Wellenleiterdesign, das es ermöglicht, hohe Ätzgenauigkeit und Wiederholbarkeit sowie hohe Durchdringung zu erreichen. Das Gerät kann Spitzenleistung von bis zu 250KW erreichen, mit einer standardmäßigen maximalen Durchschnittsleistung von 50KW. Darüber hinaus ist 903 E flexibel genug, um eine Vielzahl von Wellenformaten wie Schrittwelle, Chirp-Welle und variable Leistungswellenform zu unterstützen. Die Maschine ist mit einer erweiterten Kammergröße und einem flachen Profil ausgestattet, was eine Hochdurchsatzverarbeitung auf kompakter Grundfläche ermöglicht. Für weitere Flexibilität und Leistung kann die Kammer mit einem offenen oder geschlossenen Deck und zusätzlichen integrierten Komponenten wie Mehrwertsensoren und schnellen Abkühlstrahlen konfiguriert werden. Zusätzliche Programmierbarkeit kann auch durch TEGAL ETch Tool (TES) Software verbessert werden. Darüber hinaus ermöglicht das benutzerfreundliche Design von TEGAL 903E eine einfache Bedienung, Wartung und Kalibrierung. Das Asset verfügt über eine dedizierte grafische Benutzeroberfläche, die Schritt-für-Schritt-Menü und Echtzeit-Betrachtungs- und Einstellmodi umfasst. Die GUI gibt auch Feedback zum Ätzprozess und ermöglicht eine schnelle Diagnose im Fehlerfall. TEGAL 903 E wurde für eine verbesserte Effizienz, Wiederholbarkeit und Genauigkeit konzipiert, die durch seine innovative Suite integrierter Technologien gewährleistet wird. Es ist ein ideales Werkzeug für fortschrittliche Verpackungsanwendungen wie Waferbonden, Mikrowellenkreisverpackungen, Nanofabrikation, 3D-Integration und MEMs-Herstellung.
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