Gebraucht TEGAL 903E #9181763 zu verkaufen

TEGAL 903E
Hersteller
TEGAL
Modell
903E
ID: 9181763
Wafergröße: 6"
Etchers, 6".
TEGAL 903E ist ein vollautomatischer Hochdurchsatz-Ätzer/Ascher, der speziell für Halbleiterherstellungsprozesse entwickelt wurde. Mit einem 225 mm x 225 mm x 6,5 mm Arbeitsraum und einem Betriebstemperaturbereich von 10 ° C bis 100 ° C bietet dieser effiziente Ätzer/Ascher einzigartige Gleichmäßigkeit und Genauigkeit. TEGAL 903 E ist mit einer Vielzahl von Optionen konfiguriert und bietet Flexibilität, um eine Vielzahl von Verarbeitungsanforderungen zu erfüllen und gleichzeitig außergewöhnliche Leistung zu bieten. Die robuste und zuverlässige 903E kann eine Vielzahl von Materialien verarbeiten, einschließlich Metalle, Legierungen, Polymere und andere Materialien, mit Ätzzeiten von unter 45 Sekunden. Das präzise keramische Bootsfutter sorgt für hervorragenden Material-Wafer-Kontakt und Gleichmäßigkeit. Mit drei unterschiedlichen Ätzprozessen kann 903 E exakt anodische FETs, epitaktische Schichten und Dünnschichtgeräte herstellen. Nach der Fertigstellung werden Wafer automatisch gereinigt und getrocknet, so dass das System schnell zur nächsten Charge übergehen kann. Ausgestattet mit Siemens & TTE Software ist TEGAL 903E einfach zu bedienen und zu konfigurieren, ohne dass ein spezieller Techniker benötigt wird. Eine benutzerfreundliche, grafische Benutzeroberfläche sorgt für Genauigkeit und Präzision, während Sicherheitsfunktionen wie Lichtvorhänge und Interlocks eine zusätzliche Schutzschicht für den Bediener bieten. Dieses System verfügt auch über eine umfassende Bibliothek mit Prozessrezepten, so dass Benutzer ihre Ätzprozesse ohne großen Aufwand schnell und einfach anpassen können. Darüber hinaus ist TEGAL 903 E in der Lage, hochauflösende, qualitativ hochwertige Bilder mit einer Auflösung von bis zu 1 Mikron für Betrachtung und Bildgebung zu erzeugen. Das integrierte programmierbare Sichtsystem dient der Steuerung der Bühnenbewegungen, der Temperaturen, des Vakuumniveaus und anderer entscheidender Parameter für das genaue Ätzen. Für zusätzlichen Komfort können 903E mit anderen Systemen und Steuerungen in der Fertigungsumgebung integriert werden. 903 E liefert außergewöhnliche Ergebnisse und hilft Benutzern, qualitativ hochwertige Ergebnisse mit minimalem Aufwand zu erzielen. Der robuste Aufbau, die hervorragende Leistung und die benutzerfreundliche Benutzeroberfläche machen diese Maschine zur idealen Maschine für Hersteller und Produktionsanlagen, die schnell und präzise Präzisionskomponenten und integrierte Schaltungen erstellen möchten.
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