Gebraucht TEGAL 903E #9250125 zu verkaufen

TEGAL 903E ist eine Ätz- und Aschemaschine, die speziell für die Herstellung fortschrittlicher MEMS-Komponenten entwickelt wurde. Es handelt sich um ein automatisiertes Ätz- und Aschesystem mit Komponenten wie Be- und Entladestation, Ätzkammer und mehreren Waferkassetten mit jeweils einer Temperatur- und Überwachungseinheit. Das Gerät ist für eine breite Palette von Substratgrößen konzipiert und ist sowohl mit eigenständigen als auch mit mehreren Kassetten kompatibel. Es ist in der Lage, sowohl nasse Spülung und trockene Ätzungen und Aschevorgänge mit einer Präzision von bis zu 0,5 Mikron durchzuführen. Die Automatisierung des Prozesses ermöglicht einen höheren Durchsatz mit bis zu 4 Mikrometer Wiederholbarkeit. Die Maschine wurde entwickelt, um zuverlässige Ergebnisse mit einem Minimum an manueller Handhabung zu erzielen. Das fortschrittliche Temperaturkontroll- und Überwachungswerkzeug sorgt für optimale Temperatureinstellungen für den Ätzprozess. Der geringe Jitter sorgt auch bei Ätz- und Ascheprozessen für eine geringe Verschmutzungsrate. Es ermöglicht auch eine gleichmäßige Ätztiefe mit Gleichmäßigkeit über das Substrat. Die Anlage umfasst auch mehrere Sicherheitsmerkmale wie automatische Alarme bei zu niedrigen oder hohen Temperaturen und mehrere Vakuumeinstellungen, die für verschiedene Prozesse angepasst werden können. Außerdem verfügt es über eine Anti-Eis-Funktion, die eine schnelle und sichere Verarbeitung ermöglicht. TEGAL 903 E hat ein breites Anwendungsspektrum. Es kann bei der Herstellung von mikroelektronischen Komponenten, MEMS-Modulen sowie elektronischen und nanoelektronischen Komponenten eingesetzt werden. Es bietet Protokolle für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheprozessen wie CVD, Ätzen, Trockenätzen und Trockenaschen. Für seine Eigenschaften und Anwendungen ist 903E ein zuverlässiges und vielseitiges Ätz- und Aschemodell. Mit seiner Präzision, seinem hohen Durchsatz und seiner Automatisierungskapazität eignet es sich für eine breite Palette von Industrie- und Forschungsanwendungen.