Gebraucht TEGAL 905 #163758 zu verkaufen

TEGAL 905 ist ein Ätzer/Ascher, ein Gerät zum Trockenätzen und Aschen in der Produktion integrierter Schaltungen (IC). Es ist ein Werkzeug, das eine Multi-Prozess-Gasförderanlage verwendet, um einen effizienten und wiederholbaren Ätz- und Ascheprozess zu ermöglichen. Das Tool verfügt über eine einzige 8 "-Waferkapazität in einer ultrakompakten Plattform, die den Platzbedarf verringert und die Effizienz des Reinraumarbeitsbereichs optimiert. 905 verfügt über einen vollständig integrierten Prozesscontroller, um einen konsistenten und wiederholbaren Prozess mit Millisekunden-Zeitauflösung bereitzustellen. Die fortschrittliche Prozesssteuerungstechnologie erhöht die Ätzgenauigkeit, indem sie die Einstellung von Prozessparametern während des Plasmabetriebs ermöglicht. Sein Gasfördersystem ermöglicht eine unabhängige Steuerung von Gasen, so dass Benutzer eine optimale Mischung von Gasen für jeden Ätzprozess auswählen können. TEGAL 905 verfügt zudem über eine integrierte Verteilerkassette, die den Zeitaufwand für den Waferwechsel zwischen Prozessen reduziert und den Durchsatz erheblich erhöht. Seine programmierbaren Kassettenpositionen ermöglichen es Benutzern, den Zeitpunkt der Ätz- und Ascheprozesse anzupassen, um die Produktivität und Qualität zu maximieren. Darüber hinaus stellt die Opto-Zellerkennung des Werkzeugs sicher, dass jeweils nur ein Wafer bearbeitet wird, wodurch eine Kontamination minimiert wird. 905 enthält auch eine fortschrittliche Sicherheitseinheit, die ausfallsichere Operationen und maximale Betriebszeiten ermöglicht. Die dreistufige Sicherheitsmaschine umfasst ein Verriegelungswerkzeug der Klassen 1 und 2, ein druckempfindliches Überdruckventil und ein druckempfindliches Keramikventil. Optional stehen auch Spülpumpen und Abgasanlagen zur Verfügung, um die Kammer sauber und frei von Verunreinigungen zu halten. TEGAL 905 ist mit seiner fortschrittlichen Prozesssteuerungstechnik und seinen Sicherheitsmerkmalen ein ideales Werkzeug für hochpräzise Produktionsanforderungen. Die geringe Größe, die schnelle Verarbeitungsgeschwindigkeit und die integrierte Gaslieferanlage bieten IC-Herstellern eine hocheffiziente und wirtschaftliche Lösung.