Gebraucht TEGAL 915 #158859 zu verkaufen

TEGAL 915 ist ein Ätzer/Ascher, der von der TEGAL Corporation, einem weltweit führenden Anbieter von Halbleiterherstellungsgeräten, hergestellt wird. Dieser Ätzer/Ascher wird in der MEMS- und Halbleiterherstellung verwendet und ist so konzipiert, dass er durch effiziente, kostengünstige Verarbeitung überlegene Leistung und Skalierbarkeit liefert. 915 ist ein Mehrkammer-Ätzer/Ascher mit einem optimierten Einkammer-Layout. Es verfügt über ein kombiniertes Ätz-/Ascheverfahren, mit dem Benutzer das Substrat gleichzeitig in derselben Kammer ätzen und reinigen können. Es hat eine hohe Durchsatzfähigkeit und kann bis zu 130 Substrate für jeden Ätzzyklus verarbeiten. TEGAL 915 wird von einer leistungsstarken, leistungsschwachen DC-Magnetron-Sputterausrüstung mit hoher Dichte angetrieben und enthält auch ein fortschrittliches Ladetransportsystem für einen verbesserten Durchsatz. Der Ätz-/Ascheprozess nutzt eine Kombination aus hochdichtem Plasma, Vorätz- und Nachascheprozessen, was zu überlegenen Ätzraten und hervorragenden Ergebnissen führt. Sein Mehrkammerdesign ist optimiert, um Präzisionsstempel-Funktion zu ermöglichen, was zu einer überlegenen Kantendefinition von KEs führt. 915 verfügt über eine erstklassige In-situ-Diagnose und wurde entwickelt, um Fehler automatisch auszugleichen, Fehler zu minimieren und die Prozessleistung zu optimieren. Es wurde entwickelt, um Virtual Endpoint für eine optimale Prozesskontrolle und Wiederholbarkeit zu ermöglichen. Es enthält auch kühle Kammer für eine genaue Kontrolle der Kammertemperatur. Darüber hinaus umfasst TEGAL 915 eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, wie eine Sicherheitsverriegelungseinheit und eine chemische Inertisierungsfähigkeit. Seine fortschrittliche Verschlussmaschine sorgt dafür, dass das Substrat erst dann Plasma oder Ätzmittel ausgesetzt wird, wenn das Substrat sicher in der Kammer gehalten wird. Darüber hinaus verfügt 915 über eine Reihe von Anpassungsfunktionen, wie mehrere Rezeptspeicher und einfache Optimierungstools. Es ist einfach zu bedienen, mit einer dynamischen Schnittstelle und Fernbedienung, so dass es ideal für die Fernüberwachung und Prozesssteuerung. TEGAL 915 wurde entwickelt, um durch effiziente und kostengünstige Verarbeitung herausragende Leistung und Skalierbarkeit zu bieten und ist somit eine ideale Wahl für die heutigen Anforderungen an die Halbleiterproduktion.