Gebraucht TEGAL 915 #293816364 zu verkaufen

TEGAL 915 Asher ist ein hochentwickelter und zuverlässiger Ätzer für den Einsatz in der Halbleiterindustrie. Der Ätzer ist in der Lage, Wafer unterschiedlicher Größen und Materialien zu verarbeiten, darunter Silicium-on-Isolator (SOI), Galliumarsenid (GaAs) und Siliciumcarbid (SiC). Im Gegensatz zu herkömmlichen Ätzern liefert es aufgrund seiner fortschrittlichen Mikroätztechnologie hochwertige Ätzergebnisse mit extrem niedrigen Verschmutzungswerten. Der Ätzer enthält eine geätzte Kammer mit einem beheizten Deckel, wodurch der gesamte Wafer gleichmäßig erwärmt werden kann. Dadurch wird sichergestellt, dass der Ätzprozess konsistent und zuverlässig ist. Die Erwärmung des Wafers gewährleistet eine hohe Genauigkeit und Gleichmäßigkeit der Ätzergebnisse. Die Kammer enthält ferner einen HF-Generator und eine Vakuumquelle, die beide zur Ansteuerung des Ätzprozesses dienen. 915 Asher verfügt über vier integrierte Real Time Imaging (RTI) Kameras. Diese Kameras ermöglichen es dem Ätzer, den Ätzprozess in Echtzeit zu überwachen und dem Bediener Feedback zu geben. Dadurch wird sichergestellt, dass der Ätzvorgang genau und effizient gesteuert werden kann. TEGAL 915 Asher verfügt über eine integrierte E-Strahl-Empfindlichkeitsauswahl (EBSS), die es dem Ätzer ermöglicht, die beste Laserempfindlichkeit für ein bestimmtes Wafermaterial auszuwählen. Dies verbessert die Genauigkeit des Ätzprozesses und stellt sicher, dass die Ätzergebnisse über Scheiben unterschiedlicher Materialien gleichmäßig sind. Der Ätzer verfügt zudem über automatisierte Wafer-Handling-Funktionen, mit denen er Wafer schnell und sicher laden und entladen kann. Der Ätzer ist hocheffizient und kostengünstig ausgelegt. Es verfügt über mehrere Funktionen zur Reduzierung der Betriebskosten, wie energiesparende Heizelemente, integrierte EBSS-Auswahl und automatisiertes Wafer-Handling. Der Ätzer verfügt außerdem über einen Betriebsmodus mit niedriger Temperatur, wodurch der Verschleiß der Geräte reduziert und eine längere Lebensdauer gewährleistet wird. Insgesamt ist 915 Asher ein effizienter und zuverlässiger Ätzer für den Einsatz in der Halbleiterindustrie. Die fortschrittliche Mikroetch-Technologie, Echtzeit-Bildkameras und die integrierte EBSS-Auswahl sorgen für zuverlässige Ätzergebnisse mit minimalen Verschmutzungsgraden, während der Niedertemperaturbetrieb und die automatisierte Waferbearbeitung eine effiziente und kostengünstige Verarbeitung gewährleisten.