Gebraucht TEGAL 915 #84339 zu verkaufen

TEGAL 915 ist ein Ätzer/Ascher, der für seine hochpräzisen Muster- und Bildgebungsfunktionen bekannt ist. Das Werkzeug verwendet Präzisionsbündeltechnologie für lokalisierte Schaltungsmuster und integrierte automatisierte Lastschlösser für den schnellen Werkzeugaufbau. Es kommt auch mit Sondenstation und Laminierungstechnik mit optionaler Anpassung von Substratmesssystemen. 915 verfügt über eine eigene Arbeitskammer, die mit Konstruktionswänden, einstellbaren Abschirmungen, Temperaturreglern, Temperatursensoren und Vakuumsystemen ausgestattet ist, die eine konsistente Umgebung für optimale Ätz- und Bildgebungsleistung gewährleisten. Das Werkzeug enthält einen hochpräzisen Scankopf mit Vier-Achsen-Bewegung und eine ganze Reihe von bildgebenden Sensoren. Es hat auch eine große Vakuumkammer mit einer Belastbarkeit von bis zu 26 Full-Size-Wafern oder äquivalent. Ein feldwechselbares Düsensystem mit drei austauschbaren Düsen (Gas, Etch/Methylen-Iodid und Kohlenstoff-Einspritzungen) ermöglicht eine individuelle Anpassung und Optimierung des Ätzprozesses. Die allgemeine Flexibilität von TEGAL 915 macht es für die unterschiedlichsten Anwendungen und Prozesse geeignet. Seine Clusterkonfiguration nutzt gemeinsame Funktionen wie gemeinsame Substrat-Transfer-Chutes (STCs) und 'Zone' -Verbindungen, damit mehrere Tools zusammenarbeiten können, um komplexe und komplizierte Muster zu erstellen. 915 verwendet auch eine ionisierte Clusterstrahl-Autofokus-Einheit mit höherer Genauigkeit und Wiederholbarkeit im Vergleich zu anderen Ätzern in seiner Klasse. Verschiedene einstellbare Parameter von TEGAL 915 wie Substratgrößen, Probentyp und Dicke, Gasversorgungsverhältnisse und Druckbereich ermöglichen eine größere Experimentierung und Anpassung der Ätzprozesse. Das Werkzeug wird durch einen integrierten halbautomatischen Reinigungszyklus für maximale Produktivität und Sicherheit weiter ausgebaut. Zusammenfassend ist 915 ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, ideal für hochpräzise Anwendungen dank modernster Bildgebungs- und Strahltechnologien, breiter Palette einstellbarer Parameter, flexibler Clusterkonfiguration und automatisiertem Reinigungszyklus. TEGAL 915 ist eine All-in-One-Ätz- und Aschemaschine, die es zu einem sehr vielseitigen und unverzichtbaren Werkzeug für jedes Labor oder jede Einrichtung macht, die an Forschungs- und Entwicklungsprojekten beteiligt ist.