Gebraucht TEGAL 915 #9210224 zu verkaufen

TEGAL 915
Hersteller
TEGAL
Modell
915
ID: 9210224
Chamber assy.
TEGAL 915 ist ein hochpräziser automatisierter Waferätzer/Ascher, der für die Herstellung von HF-MEMs, photonischen Geräten und nanoelektronischen Komponenten entwickelt wurde. Diese speziell konstruierte Maschine ist mit überlegener Präzision und Wiederholbarkeit gefertigt und bietet einen hohen Durchsatz bei niedrigeren Betriebskosten. Es verwendet eine reichlich 75 x 75 cm große offene Kammer und eingebauten Gaskrümmer mit einer Vielzahl von Prozessgasquellen, so dass Benutzer eine optimale Beschichtungsdicke und Gleichmäßigkeit mit verschiedenen Verbindungen zu schaffen. Seine Elektronenstrahlquellen mit zwei Kathoden bieten eine extrem gleichmäßige Ätzrate, so dass Benutzer die Ätzzeit genau bestimmen und die Ausbeute maximieren können. Darüber hinaus sorgt 915 mit seiner Frontlade-/Entladekonfiguration, intuitiven Steuergeräten und umfassenden Integrationsmöglichkeiten für einen zuverlässigen und effizienten Prozess. Dank seines fortschrittlichen Kühlsystems bleiben alle Komponenten bei niedriger Temperatur, was den Ätzprozess sauber, sicher und stabil macht. Die Regelkreis-Rückkopplungstechnologie sorgt zudem für wiederholbare Genauigkeit bei Ätzergebnissen und erhöht zudem die Zuverlässigkeit der Einheit. Sie überwacht regelmäßig die Betriebsparameter und bietet Echtzeit-Anpassungen an Schwankungen aus dem Optimalen. Darüber hinaus verhindert TEGAL 915 mit seiner robusten harten Schutzschicht und seiner ultrasauberen Technologie das Austreten von Prozessgasen und die Kontamination von Ätzergebnissen. In Bezug auf Wartung und Wartung ist 915 wartungsarm und benutzerfreundlich. Seine automatisierte Selbstüberprüfung HMI hält Benutzer über den Komponentenstatus auf dem Laufenden und bietet schnellen Zugriff auf Warnungen, so dass Benutzer über das Leistungsniveau informiert bleiben können. Schließlich wird es von einem fortschrittlichen und umfassenden technischen Support-Team unterstützt, das sicherstellt, dass die Maschine kalibriert ist und in einwandfreiem Funktionszustand ist.
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