Gebraucht TEGAL 915 #9220755 zu verkaufen

TEGAL 915 Ätzer/Ascher ist ein computergesteuertes Ätz- und Aschverfahren zur Herstellung von Halbleiterscheiben. Es verfügt über einen integrierten Ofen mit vier Abscheidungsquellen, drei unabhängige rotierende Ätz-/Ascheelektroden und eine automatisierte Prozesskammer. 915 ist mit fortschrittlicher OptiPulse™-Technologie entwickelt, um eine präzise Kontrolle der Ätztiefe und Gleichmäßigkeit über die gesamte Oberfläche der Substrate bereitzustellen. Die Ausrüstung ist auch in der Lage, eine Vielzahl von Dünnschichtmaterialien wie Polysilizium, Aluminium, Nickel und Titan zu verarbeiten. TEGAL 915 wurde entwickelt, um ein sehr gleichmäßiges Ätzen und Aschen zu ermöglichen. Es verwendet eine Reihe integrierter Prozesse, wie den Enhanced LPCVD (ELPCVD) -Prozess, um sicherzustellen, dass Ätztiefen und Einheitlichkeit global kontrolliert werden. Das OptiPulse-System ermöglicht eine präzise Ätzgleichmäßigkeit und -tiefe bis zu 1 Mikrometer, mit einstellbarer Ätzratenregelung zur Feinabstimmung des Ätzprofils. Seine vier Abscheidungsquellen sind für hohe Abscheidungsraten, Gleichmäßigkeit und eine präzise Dünnschichtdickensteuerung ausgelegt. Eine dedizierte rotierende Elektrode ist in der Lage, Ätzmuster exakt nach benutzerdefinierten Kartenformen zu bilden. 915 ist mit einer großen Prozesskammer ausgestattet, die bis zu 2 Zoll dicke Wafer verarbeiten kann. Eine umfassende Steuereinheit ermöglicht eine individuelle automatische Rezepterstellung und einen einfachen Zugriff auf Parameter, so dass Benutzer Prozesse auf bestmögliche Ergebnisse abstimmen können. Seine flexible Automatisierung ermöglicht schnelle Prozessverschiebungen und einen effizienten Durchsatz; seine intensive benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche ermöglicht eine einfache Bedienung und Rückruf von Rezepten. Zusammenfassend kommt TEGAL 915 Ätzer/Ascher mit einer Vielzahl von Funktionen, die ein schnelles und gleichmäßiges Ätzen und Aschen von Dünnschichtmaterialien wie Polysilizium, Aluminium, Nickel und Titan ermöglichen. Seine OptiPulse-Maschine sorgt für präzise Ätztiefe und Gleichmäßigkeit, während seine integrierten Prozesse und rotierenden Elektroden eine fein abgestimmte Anpassung und automatisierte Rezepterstellung und Rückruf ermöglichen. 915 ist entworfen, um schnelle Prozessverschiebungen, effizienten Durchsatz und überlegene Gleichmäßigkeit zu bieten.