Gebraucht TEGAL 915 #9244755 zu verkaufen

Hersteller
TEGAL
Modell
915
ID: 9244755
Weinlese: 1994
Etcher Gases: Nitrogen, Oxygen, Methane 1994 vintage.
TEGAL 915 ist eine hochpräzise Ätz-/Ascher-Ausrüstung, die für die anspruchsvollsten Anwendungen entwickelt wurde, die ein genaues Ätzen/Ascher von Substraten wie Siliziumscheiben, kupfer- und aluminiumplattierten Schaumstoffsubstraten und anderen Materialien erfordern. Es verwendet sowohl Freiraum-Lasertechnologie als auch katalytisches chemisches Ätzen für genaues, präzises Ätzen und Ablation. Die Laserquelle von 915 ist in der Lage, sowohl Halbleiter- als auch Nichthalbleitermaterialien mit hoher Genauigkeit und Zuverlässigkeit über den gesamten Temperaturbereich zu verarbeiten. Der Laser ist mit einem Drehspiegel ausgestattet, um einheitliche und präzise laserräumliche Muster bereitzustellen, und einem Scannerkopf, der das räumliche Muster des Laserstrahls steuern kann. Das System ist auch in der Lage, eine breite Palette von Laserfrequenzen bereitzustellen. Seine weitspurige Galvanometer-Abtasteinheit bietet eine dynamische Steuerung der Laserleistung, so dass die genaue Menge des zu ätzenden Materials genau und genau definiert werden kann. TEGAL 915 bietet auch eine Reihe von katalytischen chemischen Ätzoptionen. Die Maschine kann programmiert und gesteuert werden, um verschiedene Ätzchemien auf verschiedenen Materialien mit unterschiedlichen Eindringtiefen abzulegen. Dies ermöglicht die präzise Steuerung des Ätzens kritischer Abmessungen in die Waferoberfläche und die Erzeugung komplizierter Konstruktionen und Muster. Neben seiner Genauigkeit und Ätzgenauigkeit umfasst 915 auch eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, wie eine Schutzhaube und begrenzende Sicherheitstüren, sowie eine Vakuumkammer, um während des Ätzvorgangs hergestellte gefährliche Nebenprodukte zu sammeln. Das Werkzeug ist zudem mit einer automatisierten, selbstreinigenden Funktion ausgestattet, die die Verschmutzung des Materials und des Wafers reduziert. TEGAL 915 ist ein hochentwickeltes Ätz-/Asher-Modell, das den anspruchsvollsten Ätzanforderungen gerecht wird. Seine Präzision, Sicherheit und erweiterte Steuerungsfunktionen machen es zu einer äußerst zuverlässigen und effizienten Ausrüstung zum Ätzen einer breiten Palette von Materialien.
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