Gebraucht TEGAL 921 #293749181 zu verkaufen

TEGAL 921 ist eine sehr vielseitige und fortschrittliche Ätz-/Aschemaschine, die in Halbleiterherstellungsprozessen eingesetzt wird. Es wurde entwickelt, um eine präzise und gleichmäßige Plasmabearbeitung von Substraten mit hohem Durchsatz und Wiederholbarkeit anzubieten. Das System ist mit fortschrittlichen Funktionen und Fähigkeiten ausgestattet, die es ideal für eine Vielzahl von Anwendungen bei der Herstellung von integrierten Schaltungen, MEMS-Geräten, Sensoren und anderen mikroelektronischen Komponenten machen. Eines der Hauptmerkmale von 921 ist seine Doppelkammer-Konstruktion, die eine gleichzeitige Bearbeitung mehrerer Wafer und eine erhöhte Produktivität ermöglicht. Die Einheit besteht aus zwei Verarbeitungskammern, die jeweils mit einer eigenen Stromversorgung, einer Gasliefermaschine und einer Prozesssteuerung ausgestattet sind. Diese Konfiguration ermöglicht eine unabhängige Steuerung von Prozessparametern in jeder Kammer, die Flexibilität und Effizienz bei der Bearbeitung verschiedener Substrattypen oder der gleichzeitigen Durchführung mehrerer Prozeßschritte bietet. TEGAL 921 ist mit einer Hochleistungs-Hochfrequenz-Plasmaquelle ausgestattet, die eine hochreaktive Plasmaumgebung für Ätz- und Ascheprozesse erzeugt. Die HF-Plasmaquelle ist in der Lage, eine Vielzahl von Gasplasmachemikalien zu erzeugen, was eine breite Palette von Prozessfähigkeiten ermöglicht, einschließlich Ätzen von Metallen, Oxiden und Polymeren sowie Strippen von Photoresist und organischen Materialien. Die Plasmaquelle kann angepasst werden, um die Prozessbedingungen für spezifische Substratmaterialien und Prozessanforderungen zu optimieren und so eine hohe Prozessselektivität und Gleichmäßigkeit zu gewährleisten. Das Tool verfügt über erweiterte Prozessüberwachungs- und Steuerungsfunktionen, um präzise und reproduzierbare Bearbeitungsergebnisse zu erzielen. Es ist mit mehreren In-situ-Diagnosetools wie optischer Emissionsspektroskopie (OES), Massenspektrometrie und Endpunktdetektionssystemen ausgestattet, die eine Echtzeit-Überwachung von Prozessparametern, chemischen Reaktionen und Endpunktdetektion ermöglichen. Diese Tools bieten wertvolle Rückmeldungen zur Prozessleistung und ermöglichen eine On-the-Fly-Anpassung zur Optimierung der Prozessbedingungen und zur Gewährleistung konsistenter Ergebnisse. Neben der erweiterten Prozesssteuerung bietet 921 auch eine benutzerfreundliche Oberfläche und intuitive Software für einfache Bedienung und Programmierung. Das Asset ist mit einer grafischen Benutzeroberfläche (GUI) ausgestattet, die Zugriff auf eine Vielzahl von Prozessrezepten, Parametereinstellungen und Diagnosetools bietet. Bediener können Prozessabläufe einfach programmieren und anpassen, Prozessbedingungen festlegen und den Prozessfortschritt in Echtzeit über die GUI überwachen, wodurch die Prozessleistung optimiert und Probleme bei der Verarbeitung behoben werden können. TEGAL 921 ist auch mit Blick auf Sicherheit und Zuverlässigkeit konzipiert, mit robusten Hardwarekomponenten, automatisierten Sicherheitsverriegelungen und eingebauten Fehlererkennungssystemen, um ein Höchstmaß an Betriebssicherheit und Zuverlässigkeit zu gewährleisten. Das Modell wurde entwickelt, um strenge Industriestandards und regulatorische Anforderungen zu erfüllen, so dass es für den Einsatz in Reinraumumgebungen und Produktionsanlagen mit hohem Volumen geeignet ist. Insgesamt ist 921 Ätzer/Ascher-Ausrüstung ein modernes Werkzeug für die Halbleiterverarbeitung, das erweiterte Fähigkeiten, überlegene Leistung und einfache Bedienung bietet. Seine Dualkammer-Konstruktion, Hochleistungs-Plasmaquelle, erweiterte Prozessüberwachungs- und Steuerungsfunktionen, benutzerfreundliche Schnittstelle und robuste Sicherheitsmaßnahmen machen es zu einer idealen Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterindustrie.