Gebraucht TEGAL 965 #293753247 zu verkaufen

TEGAL 965 Ätzer (oder Ascher) ist ein fortschrittliches Ätz- und Aschewerkzeug zur Herstellung von Halbleiterchips. Es ist in der Lage, große Flächen mit hoher Geschwindigkeit und mit überlegenen Ergebnissen zu ätzen und zu aschen. Die große Fläche ist in zwei Teile unterteilt, einen Ätzbereich und einen Aschebereich. Die Maschine kann 5 "bis 8" Substrate verarbeiten, wobei maximal 12 "für beste Ergebnisse empfohlen werden. 965 verwendet eine patentierte Gasmischtechnologie, die ein hochdichtes Plasma (HDP) -Ätzen ermöglicht, was eine schnellere Ätzrate mit verbesserter Plasmaeinheitlichkeit, hoher Gleichmäßigkeit des Plasmas und einer Verringerung der Waferverzerrung ermöglicht. Der Ätzprozess verwendet ein Hochfrequenz-Hochfrequenz-Plasma (HF), um Material schnell und gleichmäßig zu entfernen, was sowohl die Ätzzeit reduziert als auch die Ergebnisse des Basisätzens verbessert. Die Ätzzeit kann auf die spezifische Anwendung abgestimmt werden, was eine Zyklusverkürzung und einen höchsten Durchsatz ermöglicht. Das Ätzen verarbeitet unterschiedliche Gase, wie Stickstoff oder Helium, um spezifische gewünschte Ergebnisse zu erzielen. Es stehen spezielle Ätzverfahren wie reaktives Ionenätzen, sauerstoffreaktives Ionenätzen und Photoresistätzen zur Verfügung. Der Ätzer kann auch andere Prozesse wie Strippen, Verdünnen und Modifizieren nach dem Ätzen durchführen. Der Ascheprozess von TEGAL 965 verwendet Plasma auf Sauerstoffbasis, um Material gleichmäßig von der Waferoberfläche zu entfernen. HDP-Ascheverfahren ist auch für hohe Geschwindigkeit, hohe Gleichmäßigkeit und hohe Reinheit Materialabtrag zur Verfügung. Dieses Verfahren ist dem herkömmlichen Ascheverfahren für empfindliche Wafer überlegen und bietet eine bessere Gleichmäßigkeit und Reinheit der Ergebnisse. 965 ist ein zuverlässiges und wertvolles Ätz-/Waschwerkzeug für die Waferherstellung. Es ist einfach einzurichten und zu bedienen, ist bekannt für seine Genauigkeit und Geschwindigkeit. Dies kombiniert mit der hohen Qualität und Gleichmäßigkeit der Prozessergebnisse macht TEGAL 965 zu einem idealen Werkzeug für eine Vielzahl von Anwendungen wie MEMS, Mikroprozessoren und drahtlose Kommunikation. Schließlich bietet der voll ausgestattete 965 eine überlegene Kontrolle über Ätz- und Ascheprozesse, so dass auch optimale Ergebnisse erzielt werden können.