Gebraucht TEGAL 980ACS #9395473 zu verkaufen

TEGAL 980ACS ist ein Ätzer und Ascher, der für die Verwendung durch Halbleiterverarbeitung und Forschungsexperten entwickelt wurde. Es ist eine völlig automatisierte, schnelllaufende, Hodurchflussausrüstung, die entworfen ist, um Oblaten in einer Vielfalt von Anwendungen zu bearbeiten. TEGAL 980 ACS verfügt über ein PC-basiertes Steuerungssystem und eine 16-bit-RISC-driven Architektur, um eine schnelle und hochgenaue Kontrolle des Ätzprozesses zu gewährleisten. Das Gerät bietet auch eine breite Palette von Funktionen, darunter: mehrere Prozessrezepte und hoch einstellbare Parametereinstellungen; eine auf Windows XP basierende grafische Benutzeroberfläche (GUI) zur Rezeptur- und Parameterauswahl; Temperatur-, Druck- und Durchflussregelungen; Be- und Entladeoptionen; und einen 750W Mikrowellengenerator. Der Ätzer verfügt über zwei unabhängige Kammern, die jeweils bis zu einem 6-Zoll-Wafer halten können. Beide Kammern sind passiv oder aktiv regelbar, während alle anderen Ätzparameter konstant bleiben. Die Kammertemperaturen sind von Raumtemperatur bis 700 ° C programmierbar, mit der Fähigkeit, mit einer Geschwindigkeit von 3 ° C pro Sekunde aufzuheizen. 980ACS verfügt auch über eine automatisierte Be-/Entlademaschine, die auf die Kompatibilität mit verschiedenen Transportbändern und Waferkassetten ausgelegt ist. Das Tool kann bis zu 12 Wafer pro Minute verarbeiten und verfügt über ein Touchscreen-Display zur Aufnahme und Anzeige von Echtzeit-Ätzprozessdaten. Das Asset arbeitet mit einer dreiphasigen 208-VAC und kann insgesamt bis zu 750W Strom an beide Kammern liefern. Als einer der fortschrittlichsten Ätzer der Branche ist 980 ACS in der Lage, Ätztiefen von bis zu μ m exakt zu produzieren, was es ideal für Anwendungen wie Tiefätzen, Implantation und Photolithographie macht.