Gebraucht TEGAL 981 #9249070 zu verkaufen

TEGAL 981 ist eine fortschrittliche Ätz-/Ascherausrüstung, die auf Präzision und überlegene Leistung ausgelegt ist. Dieses System kann für eine breite Palette von Ätz- und Ascheanwendungen verwendet werden, einschließlich für Halbleiter, Flachbildschirme, MEMS und andere elektronische Komponenten. 981 setzt einen neuen Standard für fortschrittliches Ätzen und Aschen, indem es überlegene Flexibilität und Erweiterbarkeit bietet. TEGAL 981 verfügt über eine elektromagnetische Interferenz (EMI) Reduktions-Basisplattentechnologie, die leitfähige Schilde und Abschirmungen in Kombination mit einem Waferhalter, einer Stromquelle und einem Verteilersockel verwendet. Dies ermöglicht einen sicheren und einheitlichen Ätz- und Ascheprozess bei gleichzeitiger Reduzierung der EMI-Signatur des Geräts. 981 verfügt auch über einen Waferhalter, der mit verschiedenen Wafergrößen kompatibel ist, eine manuelle und automatische Drucksteuerungsmaschine und ein konfigurierbares Ätz-/Ascheprozessrezept. TEGAL 981 ist in der Lage, Produkte verschiedener Größen und Formen schnell und präzise zu ätzen und zu aschen. Dieses Tool ist konfigurierbar zum Ätzen und Aschen mit einer breiten Palette verfügbarer Anfangs- und Endätz-/Ascherezepte. 981 ermöglicht auch das Ätzen und Aschen verschiedener Substrate wie Silizium, Quarz und Metalllegierungen sowie Ätzen von Glas und Saphir in derselben Ätzkammer. Zusätzlich zu den Ätz- und Aschefähigkeiten umfasst TEGAL 981 eine gasfähige Kammer zum Abisolieren und Implantieren von Fotolacken. Diese Kammer ist in der Lage, bei niedrigen Drücken, wie 100 mTorr, und Geschwindigkeiten bis zu 1000 Stufen/Sekunde zu arbeiten. Darüber hinaus verfügt das Asset über eine benutzerfreundliche Oberfläche mit Trainingsmodus sowie eine farbige grafische Anzeige. 981 besteht aus hochwertigen Materialien, und seine Konstruktion ist entworfen, um Kontaminationen zu verhindern und den Wärmeaufbau zu beseitigen. Auch dieses Modell erfüllt strenge Sicherheitsstandards und entspricht den unterschiedlichen internationalen Sicherheitsvorschriften. Es verfügt über ein patentiertes Energy Recovery Equipment (ERS), das den Energieverbrauch senkt und gleichzeitig eine hohe Ätz- und Ascheleistung gewährleistet. TEGAL 981 ist eine ausgezeichnete Wahl für jede Ätz- und Ascheanwendung. Seine überlegene Leistung und Flexibilität sowie seine reduzierte EMI-Signatur machen es zu einem der fortschrittlichsten Ätz-/Veraschungssysteme auf dem Markt.