Gebraucht TEGAL Chamber for 415 Plasma asher #293661202 zu verkaufen

ID: 293661202
VARIAN L6267-301 NW40 Vacuum valve.
TEGAL 415 Plasma Asher ist ein Präzisionsätzer/Ascher, der entwickelt wurde, um die höchsten qualitativen, wiederholbaren Ergebnisse für eine breite Palette von nassen und trockenen Plasmaätzanwendungen zu liefern. Die Kammer wurde entwickelt, um den Durchsatz, die Wiederholbarkeit und die Prozesskontrolle zu optimieren. TEGAL 415 Plasma Asher verfügt über eine große Kapazität Quarzkammer, die optimierte Gleichmäßigkeit und Temperaturregelung für eine Vielzahl von Ätzchemie bietet. Der Körper der Kammer ist aus langlebigem, leichtem, eloxiertem Aluminium aufgebaut, das schnell und einfach für Wartung und Nachfüllung geöffnet werden kann. Das benutzerfreundliche PC-Display ermöglicht eine einfache Einstellung und Überwachung von Parametern. TEGAL 415 Plasma Asher verfügt zudem über eine einzigartige, integrierte, fortschrittliche Elektronenstrahl-aktivierende Quelle, die ein möglichst hochwertiges Plasma erzeugt. Dies sorgt für effiziente, wiederholbare Ergebnisse ohne teure Bausteine oder zusätzliche Ausrüstung. Es verfügt über eine einstellbare Stromquelle zur genauen Steuerung der Prozessparameter. TEGAL 415 Plasma Asher verfügt auch über hochwertige Designmerkmale wie einstellbare Vorspannung, einstellbaren Druck, niedrige E/A-Verzögerung und kryogen gekühlte Prozessgasleitungen. Diese Funktionen ermöglichen eine höhere Qualität, mehr Wiederholgenauigkeit und eine verbesserte Lebensdauer von Werkzeugkomponenten bei gleichzeitig verschärfter Spezifikationskontrolle. TEGAL 415 Plasma Asher bietet auch mehrere Sicherheitsfunktionen, die sowohl den Bediener als auch die Ausrüstung vor potenziellen Gefahren schützen. Beispielsweise weist die Kammer einen Notabschalter auf, der angreift, wenn ein Druckanstieg erkannt wird. Es gibt auch ein Alarmsystem, das den Betreiber auf mögliche Sicherheitsprobleme aufmerksam macht, bevor sie zu ernsthaften Problemen werden. TEGAL 415 Plasma Asher hat ein hochflexibles Design, das es ermöglicht, einfach für eine Vielzahl von Ätzanwendungen konfiguriert werden, so dass es ideal für eine Vielzahl von Produktionsprozessen. Die breite Palette an Ätzfähigkeiten macht dieses System zum perfekten Werkzeug für jede Produktionslinie. Mit seinen umfassenden Fähigkeiten ist TEGAL 415 Plasma Asher eine der besten Ätzlösungen, die es heute gibt.
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