Gebraucht TEGAL CS980 #293754218 zu verkaufen

TEGAL CS980
Hersteller
TEGAL
Modell
CS980
ID: 293754218
Wafergröße: 8"
Plasma etcher, 8".
TEGAL CS980 ist eine hochmoderne Ätz- und Aschermaschine, die erweiterte Funktionen für die Verarbeitung verschiedener Arten von Wafern bietet, die in der Halbleiterherstellung verwendet werden. Dieses vielseitige Werkzeug wurde entwickelt, um präzise und einheitliche Ätz- und Ascheprozesse bereitzustellen und ist somit eine wesentliche Ausrüstung für Forschung, Entwicklung und Produktion in der Halbleiterindustrie. Eines der Hauptmerkmale von CS980 ist seine Vielseitigkeit in der Handhabung einer breiten Palette von Materialien und Wafergrößen. Das System ist kompatibel mit verschiedenen Substraten, einschließlich Silizium, Verbundhalbleiter und Glas, so dass Flexibilität bei der Verarbeitung verschiedener Arten von Geräten. Darüber hinaus bietet TEGAL CS980 Platz für Wafergrößen von kleinen Stücken bis hin zu Standard-300mm-Wafern und ist somit sowohl für Forschungs- als auch Produktionsumgebungen geeignet. CS980 nutzt fortschrittliche Plasmatechnologie, um präzise und einheitliche Ätz- und Ascheprozesse zu liefern. Die Einheit enthält eine hochdichte Plasmaquelle, die reaktive Spezies erzeugt, um die Waferoberfläche effektiv zu ätzen oder zu aschen. Diese Plasmaquelle ist einstellbar, so dass Anwender die Prozessparameter für verschiedene Materialien und Anwendungen optimieren können. TEGAL CS980 verfügt über eine benutzerfreundliche Oberfläche, die eine einfache und intuitive Bedienung ermöglicht. Die Maschine ist mit einer ausgeklügelten Steuerungssoftware ausgestattet, die Anwendern die Flexibilität bietet, Prozessrezepte und -parameter anzupassen. Darüber hinaus bietet CS980 erweiterte Überwachungs- und Diagnosefunktionen, mit denen Benutzer den Prozess in Echtzeit verfolgen und bei Bedarf Anpassungen vornehmen können. TEGAL CS980 ist mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, um einen zuverlässigen und sicheren Betrieb zu gewährleisten. Das Werkzeug enthält eingebaute Verriegelungen und Sicherheitssensoren, um Unfälle zu vermeiden und die Ausrüstung und das Personal zu schützen. Darüber hinaus erfüllt CS980 Industriestandards und -vorschriften für Sicherheit und Umweltschutz. In puncto Performance liefert TEGAL CS980 qualitativ hochwertige Ergebnisse mit hervorragender Prozesswiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit. Das Asset ist in der Lage, präzise Ätzraten und Selektivität zu erreichen, so dass Benutzer das gewünschte Ätzprofil mit hoher Genauigkeit erreichen können. Darüber hinaus bietet CS980 eine geringe Partikelerzeugung und eine hervorragende Prozesskontrolle, die eine hohe Geräteausbeute und Zuverlässigkeit gewährleistet. TEGAL CS980 ist für hohe Produktivität und Durchsatz ausgelegt, was es zu einer idealen Lösung für die Halbleiterherstellung macht. Das Modell verfügt über eine schnelle Prozesszykluszeit und schnelle Be- und Entladefunktionen für Wafer, was einen effizienten Betrieb und minimale Ausfallzeiten ermöglicht. Darüber hinaus können CS980 in automatisierte Produktionslinien für die nahtlose Waferbearbeitung integriert werden. Abschließend ist TEGAL CS980 eine hochmoderne Ätz- und Aschermaschine, die fortschrittliche Funktionen für eine präzise und gleichmäßige Verarbeitung von Halbleiterscheiben bietet. Mit seiner vielseitigen Kompatibilität, fortschrittlicher Plasmatechnologie, benutzerfreundlicher Schnittstelle, Sicherheitsmerkmalen und leistungsstarken Fähigkeiten ist CS980 ein wesentliches Werkzeug für die Halbleiterforschung, -entwicklung und -produktion.
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