Gebraucht TEGAL CS980 #293754219 zu verkaufen

TEGAL CS980 ist eine hochmoderne Ätz-/Aschermaschine für fortschrittliche Halbleiter- und Mikroelektronik-Fertigungsprozesse. Dieses vielseitige Werkzeug integriert mehrere Prozessmodule, um eine breite Palette von Ätz- und Ascheanwendungen mit außergewöhnlicher Präzision und Kontrolle zu ermöglichen. CS980 ist mit fortschrittlichen Funktionen und Fähigkeiten ausgestattet, die es zu einer führenden Wahl für Forschung und Entwicklung sowie Produktionsumgebungen machen, die zuverlässige und leistungsstarke Geräte erfordern. TEGAL CS980 verfügt über einen modularen Aufbau, der eine einfache Anpassung und Skalierbarkeit ermöglicht, um die spezifischen Anforderungen verschiedener Prozessanwendungen zu erfüllen. Das System ist typischerweise mit mehreren Prozesskammern konfiguriert, die jeweils einem bestimmten Prozessschritt wie Ätzen, Abisolieren, Reinigen oder Oberflächenmodifizieren gewidmet sind. Dieses modulare Layout ermöglicht eine effiziente Prozessintegration und maximiert die Werkzeugausnutzung durch parallele Bearbeitung mehrerer Substrate. Eine der Schlüsselfunktionen von CS980 ist die fortschrittliche Plasmabearbeitungstechnologie, die eine präzise Steuerung von Parametern wie Gasfluss, Druck, Leistung und Temperatur ermöglicht, um sehr gleichmäßige und reproduzierbare Ergebnisse zu erzielen. Das Gerät ist mit einer hochfrequenten HF-Plasmaquelle ausgestattet, die eine Niederdruck-Plasmaumgebung erzeugt, die für hochpräzise Ätz- und Ascheprozesse geeignet ist. Die HF-Quelle arbeitet mit Frequenzen im MHz-Bereich und bietet eine ausgezeichnete Plasmastabilität und Gleichmäßigkeit über die Verarbeitungskammer. TEGAL CS980 ist zudem mit einer ausgeklügelten Gasfördermaschine ausgestattet, die eine präzise Steuerung der Gasdurchsätze und -zusammensetzungen während der Verarbeitung ermöglicht. Dieses Werkzeug umfasst Massenstromregler, Druckregler und Gaskrümmer-Baugruppen, die eine genaue und zuverlässige Zufuhr von Prozessgasen zur Prozesskammer gewährleisten. Die Gaslieferanlage wurde entwickelt, um eine breite Palette von Chemikalien und Prozessrezepten zu unterstützen, wodurch CS980 für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheanwendungen geeignet sind. Neben den fortschrittlichen Plasma- und Gaszufuhrsystemen verfügt TEGAL CS980 über ein hochpräzises Substrathandhabungsmodell, das eine genaue Positionierung und Ausrichtung von Substraten während der Verarbeitung gewährleistet. Das Gerät ist mit Roboterarmen, Waferspannern und Endeffektoren ausgestattet, die ein automatisiertes Be- und Entladen von Substraten sowie eine präzise Steuerung der Substratbewegungen innerhalb der Bearbeitungskammer ermöglichen. Dieses automatisierte Handhabungssystem minimiert den menschlichen Eingriff und reduziert das Risiko von Substratschäden oder Kontaminationen während der Verarbeitung. CS980 umfasst auch eine benutzerfreundliche Schnittstellen- und Steuerungssoftware, mit der Bediener Prozessrezepte einfach einrichten, Prozessparameter in Echtzeit überwachen und Prozessdaten zur Optimierung und Fehlerbehebung analysieren können. Die Softwareschnittstelle bietet intuitive Werkzeuge für Rezeptentwicklung, Prozessüberwachung und Datenanalyse, die es Anwendern erleichtern, mit minimalem Training optimale Prozessergebnisse zu erzielen. Insgesamt ist TEGAL CS980 eine hochentwickelte Ätz-/Aschereinheit, die fortschrittliche Plasmabearbeitungstechnologie, präzise Gaszufuhrsysteme und automatisierte Substrathandhabungsfunktionen kombiniert, um überlegene Leistung und Zuverlässigkeit für eine breite Palette von Halbleiter- und Mikroelektronik-Fertigungsprozessen zu bieten. Mit seinem modularen Aufbau, den fortschrittlichen Funktionen und der benutzerfreundlichen Oberfläche ist CS980 ein vielseitiges Werkzeug, das eine außergewöhnliche Steuerung und Flexibilität für hochmoderne Forschungs- und Produktionsanwendungen in der Halbleiterindustrie bietet.