Gebraucht TEGAL Plasmaline 200 #9141854 zu verkaufen

TEGAL Plasmaline 200 ist ein fortschrittlicher, hochpräziser Ätzer/Ascher, der mit einem leistungsstarken HF-Generator und einer Großraumausrüstung ausgestattet ist. Diese Maschine ist so konstruiert, dass sie die unterschiedlichsten Ätzprozesse mit optimalen Ergebnissen durchführt. Der Plasmagenerator auf Plasmaline 200 produziert Hochtemperaturplasmen mit einer breiten Palette von Plasmaenergiestufen und Gaschemie. Der HF-Generator kann eingestellt werden, um die Plasmaverteilung über die Ätzoberfläche besser steuern zu können. Dies führt zu einer verbesserten Prozessreproduzierbarkeit und Zuverlässigkeit. Das Hochdruckkammer- und Lastschloßsystem ermöglicht dem Anwender eine große Förderleistung und eine steuerbare Atmosphäre für den Ätzprozess. Zur Dampfphasenätzung kann optional ein Verdampfer zugegeben werden. Die verdampften Arten werden innerhalb der Ätzkammer zugeführt, um Trockenätzprozesse mit hoher Kontrolle durchzuführen. Die einfach zu bedienende Software von TEGAL Plasmaline 200 bietet Anwendern Prozessentwicklungsfunktionen, die eine verbesserte Rezeptoptimierung ermöglichen. Das Gerät ist mit Echtzeit-Überwachungs- und Datenerfassungsfunktionen für jeden Ätzprozess sowie integrierter Wafer-Positionierung mit mehreren Ätzkopfkonfigurationen ausgestattet. Das fortschrittliche Design von Plasmalin 200 macht es zum Ätzen einer Vielzahl von Materialien wie Silizium, Galliumnitrid, Galliumarsenid und anderen Materialien geeignet. Die automatisierten Fähigkeiten der Maschine helfen, Produktion und Messung einfach zu machen, während ihre hohe Präzision und Prozessreproduzierbarkeit sie für die fortschrittliche Prozessentwicklung geeignet machen. Zusammenfassend ist TEGAL Plasmaline 200 ein leistungsstarker und vielseitiger Ätzer/Ascher, der einen leistungsstarken HF-Generator und eine Lastverriegelungsmaschine mit großer Kapazität verwendet, um ein hochpräzises Ätzen mit optimalen Ergebnissen zu gewährleisten. Die automatisierten Prozesssteuerungs- und Überwachungsfunktionen der Maschine machen sie für den Einsatz in fortgeschrittenen Prozessentwicklungsanwendungen geeignet.