Gebraucht TEGAL Plasmaline 200 #9142828 zu verkaufen

TEGAL Plasmaline 200 ist ein Ätzer/Ascher mit innovativer ionisierter physikalischer Ätztechnologie und ist für eine präzise Oberflächenbearbeitung ausgelegt. Es bietet hohe Präzision, Wiederholbarkeit und Hochgeschwindigkeitsbearbeitung und eignet sich besonders für nanoskalige und Hochdurchsatzanwendungen. Mit einem Einkammer-Design ist Plasmaline 200 einfach zu installieren und zu konfigurieren, wobei jedes seiner Komponenten für eine einfache Wartung zugänglich ist. Es verfügt über eine fortschrittliche einkanalige Einstrahlquelle mit hoher Leistungszuverlässigkeit und geräuscharmen Betrieb für optimale Ätzgenauigkeit. Der Mikrosteuermotor ermöglicht eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit beim Materialätzen. Die einstellbare Kammerkonstruktion maximiert die Prozessausbeute mit einer Reihe von Substraten und industriellen Anwendungen und fördert eine hochwirksame Oberflächenätzung. TEGAL Plasmalin 200 Ätzer/Ascher verwendet Hochleistungs-Plasmaätztechnologie, entwickelt, um eine leistungsstarke, präzise Ätz- und kontrollierte Wärmeverteilung zu erreichen. Das elektromagnetisch erzeugte Plasma ist gleichmäßig verteilt, um ein vollkommen gleichmäßiges Ätzen auf beliebigen Materialien über das gesamte Substrat zu ermöglichen. Die Ätzrate von Plasmaline 200 wird mit der eingebauten Vierfach-Injektortechnologie, Ar + Gas und einem speziellen internen Faraday-Schild erhöht, das eine hohe Plasmadichte bei minimaler Partikelverunreinigung bietet. Mit seinem offenen Kammerdesign ermöglicht TEGAL Plasmaline 200 eine effiziente Oberflächenbearbeitung und vorhersagbare Prozessleistung, höhere Ausbeuten und erhöhten Durchsatz bei minimalem Weißätzen nach dem Prozeß, keine Brennstoff/Ätzmaterial-Wiederabscheidung und keine Rückstandsabscheidung auf dem Substrat beim Ätzen. Die von Plasmaline 200 gelieferten einstellbaren Prozessparameter bestehen aus einstellbaren Gasdurchsätzen, Ätzrate und Ätzmittelkonzentration, was zu einer reduzierten Ätzzykluszeit und einer verbesserten Gleichmäßigkeit über eine größere Oberfläche führt. Insgesamt ist TEGAL Plasmaline 200 ein High-Tech, einfach zu bedienender industrieller Ätzer/Ascher für höhere Erträge, verbesserte Durchlaufzeiten und reduzierte Zykluszeiten. Es bietet eine innovative Einstrahlquelle, mehrere Injektoren, geräuscharmen Betrieb und einstellbare Prozessparameter, die alle mit einer leistungsstarken, präzisen und wiederholbaren Technologie betrieben werden. Mit seiner hohen Leistung und seinem breiten Spektrum an Substraten und Anwendungen ist Plasmaline 200 ideal für industrielle Ätzoperationen im Nano- und Hochdurchsatz.