Gebraucht TEGAL Plasmaline 515 #9244783 zu verkaufen

TEGAL Plasmalin 515 ist eine fortschrittliche Trockenplasmaätz- und Ascheausrüstung. Es wurde entwickelt, um die Inline-Verarbeitung einer Vielzahl von Materialien wie Siliziumoxid, GaAs, Galliumnitrid und Photoresist bereitzustellen. Plasmalin 515 verfügt über eine hochauflösende Hochvakuum-Plasmaquelle und eine ausgeklügelte großflächige Mikrowellen-Plasmaquelle. Es nutzt mehrere Mikrowellenkanäle, um auf effiziente und produktive Weise präzise Ätz- und Ascheergebnisse zu erzielen. TEGAL Plasmalin 515 wurde mit fortschrittlicher Automatisierung entwickelt, so dass es automatisch Plasmaparameter erkennen und Anpassungen vornehmen kann, um eine einheitliche Ätz- und Ascheproduktion sicherzustellen. Das ausgeklügelte Steuerungssystem ermöglicht eine präzise technische Steuerung über die gesamte integrierte Bearbeitungslinie. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine unabhängige Prozessgassteuerung, die es ermöglicht, optimale Prozessbedingungen zu erreichen und Korrekturen schnell und genau vorzunehmen. Plasmalin 515 ist auch in der Lage, mehrere Formate für Wafer und die höchstmögliche Ätzhomogenität zu unterstützen. Es wurde entwickelt, um neue PlasmaJet-Technologie zu verwenden, die hilft, überlegene Ätzgleichförmigkeit zu erhalten. Es hat auch einen kippbaren Substrathalter, der bei der Verbesserung der Gleichmäßigkeit des Ätzmusters hilft. TEGAL Plasmaline 515 verfügt über einen modularen Aufbau, der bei Bedarf Upgrades und Verbesserungen ermöglicht. Es verwendet eine voll integrierte Vakuum-Kühlmaschine zum Kühlen des Substrats vor und nach dem Ätzen. Das Vakuumkühlwerkzeug hilft, die Ätzgleichmäßigkeit und den Prozessdurchsatz zu verbessern und gleichzeitig die Lebensdauer der Prozesskammer zu erhalten. Zusammenfassend ist Plasmaline 515 ein fortschrittlicher Trockenplasmaätzer und Ascher, der eine Inline-Verarbeitung mehrerer Materialien mit hochpräzisen Ätz- und Aschefähigkeiten ermöglicht. Es verfügt über fortschrittliche Automatisierung, anspruchsvolle Steuerungssysteme und modulare Konstruktionen, so dass es die höchsten Qualitätsstandards erfüllen.