Gebraucht TEGAL Plasmaline #89914 zu verkaufen

TEGAL Plasmalin ist ein Ätz- und Aschermittel zum Trockenätzen von dielektrischen und Metallschichten. Es verwendet ein Hochdruck- und Hochtemperatur-Argon-Chlor-Gasgemisch, um Funktionen auf der Oberfläche eines Werkstücks zu ätzen und zu aschen. Dieses Verfahren kann sowohl für flaches als auch tiefes Ätzen verwendet werden. Zusätzlich kann das Ascherverfahren auch zur Steuerung der lokalen Topographie verwendet werden. Plasmalinätzer/Ascher hat zwei Kammern, die zum Trockenätzen verwendet werden. Die erste Kammer ist eine Duschkopfkammer, die durch den Duschkopf ein Hochdruck-ArCl-Gas in die Reaktionskammer einspritzt, wodurch sich eine gleichmäßige Verteilung des Gases ergibt. Der Druck und die Temperatur der Reaktionskammer wird durch den Druck und die Leistung des ArCl-Gasgemisches bestimmt. Der Ätzprozeß wird dann in der Reaktionskammer durchgeführt. Die zweite Kammer ist die Stabilisierungskammer, die den Druckanstieg während des Ätzvorgangs steuert und den Prozess zusätzlich steuert. TEGAL Plasmalin ist ein vollautomatisches System, das Druck, Temperatur und Gasfluss steuern kann. Dies hilft, ein konsistentes Ätzergebnis und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Die Steuerung des Systems erfolgt über einen programmierbaren Logikcontroller (SPS), der in den Ätzer integriert ist. Dies ermöglicht einfache Parameteränderungen je nach Bedarf des Projekts. Plasmalin ist für flache und tiefe Ätzanwendungen geeignet. Der Ätzprozess ist anisotrop, was bedeutet, dass er in manchen Richtungen schneller geätzt wird als andere. Normalerweise ist die Ätzrate auf den Eckkanten eines KEs schneller als auf den flachen Flächen. Dadurch lassen sich scharfe Merkmale und enge Toleranzen erzielen. TEGAL Plasmalin ist auch für die lokale Topographie-Kontrolle geeignet. Mit dem Ascherverfahren kann Material gleichmäßig von der Oberfläche einer Vorrichtung entfernt werden, was lokale Topographieänderungen ermöglicht. Dies ist nützlich für die Planarisierung und andere Anwendungen, bei denen die lokale Topographie gesteuert werden muss. Insgesamt ist Plasmalin ein zuverlässiger und robuster Ätzer/Ascher, der konsistente und wiederholbare Ergebnisse in einer Vielzahl von Ätz- und lokalen Topographie-Steuerungsanwendungen liefern kann. Die Kontrolle über Parameter wie Druck, Temperatur und Reaktionszeit sorgt dafür, dass jedes Mal optimale Ergebnisse erzielt werden.