Gebraucht TEGAL Plasmod #133169 zu verkaufen
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ID: 133169
Etcher, 115 VAC
13.56 MHz RF generator
Manual tuning
Pyrex chamber
Gas input
Inner chamber diameter is 4.25"
Outer chamber diameter is 4.5"
Chamber depth is 6.2".
TEGAL Plasmod ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher, der die Verwendung von physikalischen und chemischen Techniken kombiniert, um komplizierte Muster auf einer Vielzahl von Materialien effektiv zu erstellen. Die Vorrichtung besteht aus einer oberen Ätzkammer, in deren unterem Bereich der Laserstrahl fokussiert ist, und einer unteren Ätzkammer zur Gasförderung. Die obere Kammer ist mit einer abnehmbaren Düse versehen, die einen CO2-Laserstrahl exakt auf das Zielmaterial richtet. Dieser Laser liefert Energie an die zu ätzende Stelle. Die Laserenergie reagiert dann mit dem Material und entfernt oder verändert den betroffenen Bereich des Materials entsprechend dem gewünschten Muster. Der Laser ist zudem mit einem Strahlhomogenisator ausgestattet, der eine gleichmäßigere Oberflächenbehandlung gewährleistet. In der unteren Kammer wird ein Gasgenerator verwendet, um den beengten Raum mit Inertgas zu füllen. Je nach Material und gewünschtem Muster wird der Gasstrom an die Anforderungen angepasst. Dies hilft beim Ausgleich der Laserenergie und verhindert somit ein Verziehen und Verbrennen des Substrats. Plasmod ist auch in der Lage, laserinduziertes chemisches Ätzen (LICE) durchzuführen, bei dem komplizierte Muster in einem Bruchteil der Zeit im Vergleich zu den regulären mechanisch geätzten Empfängern erzeugt werden. Sie setzt auf ein chemisches Ätzmittel, wie einen Reaktiv-Ionen-Ätzer, der als selektives Ätzmittel fungiert und die Laserenergie für eine erhöhte Materialabtragung erhöht. Der Reaktiv-Ionen-Ätzer hilft auch dabei, Oberflächenverunreinigungen zu reduzieren und das Substrat während des gesamten Ätzprozesses intakt zu halten. Um eine genaue Musterung zu gewährleisten, bietet TEGAL Plasmod verschiedene Qualitätskontrollfunktionen wie eine dreiachsige CCD-Videokamera, hochauflösende Bilder und automatisierte Messsoftware zur schnellen Messung der geätzten Bereiche. Der Ätzer verfügt auch über eine grafische Benutzeroberfläche, die eine einfache und schnelle Einstellung von Parametern für mehr Produktivität und Genauigkeit ermöglicht. Plasmod ist ein vielseitiges und leistungsstarkes Werkzeug, das für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheprozessen geeignet ist und ein hohes Maß an Präzision, Qualität und Wiederholbarkeit garantiert. Das Gerät ist eine ideale Wahl für diejenigen, die nach einer fortschrittlichen Ätz-/Aschelösung suchen und außergewöhnliche Ergebnisse in der Luft- und Raumfahrt, in der Medizin und in der Automobilindustrie liefern können.
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