Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON 300T #9194184 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON 300T ist eine Ätz-/Aschermaschine, die für die fortschrittliche Geräteherstellung entwickelt wurde. Dieses System unterstützt eine breite Palette von Prozesswerkzeugen und Chemikalien, um die Integration von Geräten der nächsten Generation zu ermöglichen. Es verwendet eine prozesskompatible Ätz-, Ascher- oder Litho-Ätzkammer und ist in nahezu jeder Umgebung kontinuierlich einsetzbar. Das Gerät ist mit hochentwickelten Steuerungs- und Automatisierungssystemen ausgestattet, um eine optimale Prozessrezept-Anpassung an die Kundenanforderungen zu ermöglichen. Das vielseitige Ätzverfahren von TEL 300T ermöglicht einen Bereich des Ätzens von Dünnschichtstrukturen wie Zwischentorätzen, tiefen Aussparungsätzen, flachen Grabenisolierungsätzen und Kreuzungsabstandsätzen. Es unterstützt auch fortschrittliche Reinigungsmodule mit einem integrierten Säurestreifen zur vollständigen Entfernung organischer Materialien aus dem Wafer. Diese Maschine verwendet einen speziellen Satz von Hardware wie Zauberstab und Netzteilschnittstellen für benutzerdefinierte Ätz- und Ascherezepte. Das fortschrittliche Prozesssteuerungstool mit automatischer Stabilisierung ermöglicht hochpräzise Ätz- und Ascheroperationen. TOKYO ELECTRON 300T ist für beispiellose Prozessflexibilität und Robustheit in einem einzigen 30cm (12-Zoll) Wafer-Handling-Asset konzipiert. Es ist mit einem sehr zuverlässigen Auto-Transfer für den Wafer-Transfer und einem Near-Field He (NH3) Plasma-Ascher-Nebenprodukt ausgestattet. Das NH3-Plasma-Glühmonitor-Modul ermöglicht eine genaue Überwachung des Ätz-/Ascher-Prozesszustandes. Darüber hinaus passt das fortschrittliche Prozesssteuerungsmodell das Leistungs- und Fließprofil automatisch an, um einen konsistenten und wiederholbaren Ätzprozess zu gewährleisten. Die Ausrüstung ist erweiterbar für ultraseichte Verbindungsverarbeitung einschließlich Taschen- und Steckerätzen, BPSG-Planarisierung und Wasserstoffglühen. Es ist auch in der Lage, oxidfreie Strukturen über kurzzeitige thermische Prozesse zu bilden. 300T ist je nach Verfahren mit einer Vielzahl von Chemikalien wie Ar, NF3, SF6, CCl2F2, O2 und H2 kompatibel. Die LINX Rezeptbibliothek ermöglicht die Einrichtung optimaler Ätz- und Reinigungsbedingungen bei minimaler Rüst- und Testzeit. Diese Bibliothek enthält auch eine vollständige Reihe von Sicherheitsinformationen über jeden Prozess und die Korrosionsbeständigkeit. Darüber hinaus bietet das TEM-Softwarepaket eine Extraktionsfunktion, die eine einfache Auswertung wichtiger Prozessmetriken ermöglicht, einschließlich Ätztiefe, Anisotropie, Ätzrate, Ätzleistung und Einheitlichkeit kritischer Dimensionen. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON 300T ein leistungsfähiges und zuverlässiges Ätz- und Aschersystem für die fortschrittliche Geräteherstellung. Es verfügt über eine breite Palette von Prozesswerkzeugen, Chemikalien und automatischen Stabilisierungsfunktionen, um konsistente und wiederholbare Ätz-/Ascheroperationen und eine optimale Prozessrezeptanpassung zu gewährleisten. Die Vielseitigkeit des Gerätes macht es auch für viele Anwendungen in der heutigen Geräteherstellung geeignet.