Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON 305DD #9389396 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON 305DD ist ein Ätzer/Ascher, der für hohe Prozessanforderungen in der Halbleiterherstellungsindustrie entwickelt wurde. Es verwendet eine kontinuierliche Folientransporttechnologie mit hoher Kapazität, was die Ladezeit reduziert und den Durchsatz der im Werkzeug verarbeiteten Wafer verbessert. Das 305DN verfügt über eine Doppelkammer-Konstruktion, so dass der Benutzer schnell zwischen zwei Prozessen wechseln kann, ohne das Werkzeug stoppen zu müssen. Das Prozessrezept kann leicht aktualisiert und an die Maschine übertragen werden, was einen schnellen und effizienten Betrieb gewährleistet. Die Ätzkammer kann 400mm Halbleiterscheiben aufnehmen, während die Waschkammer bis zu 300mm Wafer verarbeiten kann. Der Ätzprozess kann mit hoher Präzision und Genauigkeit gesteuert werden, während der Ascheprozess über ein einzigartiges HF-Plasmasystem verfügt, das die Leistung, Dauer und Zykluszeit kontrollieren kann, um konsistente Ergebnisse zu liefern. TEL 305DD verfügt zudem über modernste Wärmeverteilungs- und andere Wärmemanagementtechniken, um eine optimale Leistung und Gleichmäßigkeit im Ätzprozess zu gewährleisten. Um die Sicherheit zu gewährleisten, verfügt das Werkzeug über einen integrierten Sicherheitsschirm, der die Emission gefährlicher Partikel blockiert. Die erweiterte Automatisierungsfunktion des Werkzeugs ermöglicht es, die physikalischen Parameter, einschließlich Druck, Temperatur, HF-Leistung und Geschwindigkeit, an die Prozessanwendung anzupassen, wodurch die Chancen eines Produktausfalls reduziert werden. TOKYO ELECTRON 305DD ist mit einem Infusionspumpmodul ausgestattet, das eine stetige Versorgung der Ätzkammer mit frischen Chemikalien ermöglicht, wodurch die Produktlebensdauer erhöht und die Wartungskosten gesenkt werden. Schließlich kommt es mit einem Überwachungssystem, das es Anwendern ermöglicht, Prozessparameter und Produktionsleistung in Echtzeit zu überwachen.