Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON 480 HG #293818880 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON 480 HG ist ein Ätzer/Ascher der nächsten Generation, der in einer Vielzahl von Halbleiterherstellungsverfahren verwendet wird. Es ist eine 200mm thermische Ätz-/Asching-Ausrüstung von TEL Limited (TOKYO ELECTRON) - einem weltweit führenden Anbieter fortschrittlicher Halbleiterausrüstung. Mit fortschrittlichen TEL/TOKYO ELECTRON-Technologien wie automatisierter Wafer-Handhabung und einer intuitiven Benutzeroberfläche ist TEL 480 HG auf die Anforderungen der großvolumigen Fertigung ausgelegt und ermöglicht präzise Prozessausbeuten - ein wesentlicher Faktor bei der Halbleiterherstellung. Die fortschrittlichen Funktionen von TOKYO ELECTRON 480 HG rüsten Anwender mit beispielloser Kontrolle über Ätz- und Ascheoperationen aus. Das System ist mit einer modularen Einheitenstruktur und einer großen Auswahl an Prozessmodulen ausgestattet, die es Anwendern ermöglichen, die Einheit für ihre jeweiligen Prozesse und Anwendungen zu konfigurieren. Der modulare Aufbau bietet Anwendern die Flexibilität, Module auszuwählen, die den erforderlichen Maschinenfunktionen entsprechen, wie Substratvortastung, Ätzen, Aschen, Nachbearbeitungsreinigung und Kryoätzen. Das Tool verwendet auch fortschrittliche TEL-Technologie, um Ätz- und Ascheoperationen zu optimieren. Dazu gehören ein Hochgeschwindigkeits-Wafer-Autoloader, Temperaturmanagement für thermische Prozesse, Prozesssteuerungs- und Überwachungstechnologie und die Fähigkeit, Prozessparameter anzupassen, um die Asset-Performance zu optimieren. Darüber hinaus verfügt 480 HG über ein einheitliches Plasmaerzeugungsmodell, das homogene Gasverteilungen in der Kammer gewährleistet, sowie eine modulare Anlage-Luft-Kühlanlage für eine verbesserte thermische Leistung. Diese Funktionen, kombiniert mit einer Reihe von Software-Tools und manuellen Steuerungseinstellungen, geben Benutzern die Möglichkeit, die Prozessabfolge, Prozessparameter und andere Parameter im Zusammenhang mit den Ätz-/Ascheoperationen genau zu steuern. Diese Flexibilität und Kontrolle ermöglicht es Anwendern, höchste Leistung und Präzision beim Ätzen und Aschen zu erreichen. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON 480 HG ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der überlegene Leistung und Ausbeute in hochspezialisierten Halbleiterherstellungsprozessen bietet. Der modulare Aufbau des Systems, fortschrittliche TOKYO ELECTRON Technologien und präzise Steuerungsfunktionen machen es zu einem idealen Werkzeug für eine breite Palette von Ätz- und Ascheoperationen.
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