Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON 8500PE #293760303 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE ist ein Ätzer/Ascher für Halbleiter und andere Mikroherstellungsprozesse. Es basiert auf einer fortgeschrittenen ICP-Quelle (induktiv gekoppeltes Plasma) ähnlich denen, die in ICP-RIE (Reactive Ion Etching) -Systemen verwendet werden, und verwendet sowohl einen Nass- als auch einen Trockenreinigungsprozess. TEL 8500PE kann sowohl zum Reinigen als auch zum Ätzen von Materialien verwendet werden, von Silizium, Quarz und Polysilizium bis hin zu Gold und Kupfer. Es funktioniert, indem es zuerst die Substrate reinigt, um eine saubere und kontaminationsfreie Oberfläche vor der Verarbeitung zu gewährleisten. Zur Reinigung verwendet TOKYO ELECTRON 8500PE einen Argon-Gasstrom mit zugesetztem Sauerstoff, der eine ICP-Quelle mit programmierbarer HF-Leistung erzeugt. Dieses hoch ionisierte Plasma kann einen Wafer in kürzerer Zeit bei gleichmäßigerem Materialabtrag reinigen. Darüber hinaus verfügt 8500PE auch über eine spezielle Trockenätzprozessfähigkeit. Der Trockenätzmodus verwendet dieselbe ICP-Quelle wie der Reinigungsprozess, wobei ein Chlorgasstrom zugegeben wird, der speziell auf die Art des zu ätzenden Materials abgestimmt ist. Mit dieser verbesserten HF-Quelle ist TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE in der Lage, eine konsistente Ätzrate und Gleichmäßigkeit über mehrere Wafer aufrechtzuerhalten. TEL 8500PE ist in das TEL Contol Softwarepaket integriert, sodass Benutzer eine Vielzahl von Ätzrezepten programmieren können. Mit der Software können Benutzer alle Einstellungen steuern, einschließlich Prozesszeit, Gasfluss, ICP-Parameter und Wafertemperatur. Mit der Steuerungssoftware können TOKYO ELECTRON 8500PE auch an andere Geräte in einem LAN (Local Area Network) angeschlossen werden. Dies ermöglicht die Datenübertragung zwischen mehreren 8500PEs sowie mit externen Datenbanken oder anderen Computern. 8500PE ist seit mehr als einem Jahrzehnt verfügbar und wird heute umfassend in der Halbleiter- und Mikroherstellung eingesetzt und bietet ein wirtschaftliches und zuverlässiges Ätz- und Reinigungsverfahren. Ob in einem eigenständigen System oder in einer größeren Prozessmaschine integriert, TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE bleibt ein wesentliches Werkzeug in der modernen Mikroherstellung.