Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON 8500PE #9113041 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE ist eine Ätz- und Plasmaaschermaschine, die entwickelt wurde, um eine genaue Kontrolle und Präzisionsmusterung während des Ätzprozesses zu gewährleisten. Mit einem dreiachsigen CNC-Bewegungssteuerungssystem wurde TEL 8500PE speziell entwickelt, um qualitativ hochwertige Ergebnisse in einer Vielzahl von Probengrößen zu liefern. TOKYO ELECTRON 8500PE erzeugt eloxierte Ätzmuster mit einer Kombination aus Photoresist und anodischen Ätztechniken. 8500PE unterstützt präzise Wiederholgenauigkeit bis zu 5 µm für größere Wafer, mit Gleichmäßigkeiten von +/- 0,02 mm. Dies liefert gleichmäßige Ätzergebnisse auch auf den präzisesten Geräten und Substraten. TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE setzt auf eine Kombination von entweder hochfrequenter, kapazitiver Kopplung, unabhängig segmentierter HF-Induktion oder PECVD (plasma-enhanced chemical vapor deposition) -Steuerung für die Plasmaquellenleistungssteuerung. Für zusätzliche UFD (Uniformity & Feature Density) -Steuerung ist TEL 8500PE auch in der Lage, simultane Bias- und Substratvorspannungsressourcen einzusetzen. TOKYO ELECTRON 8500PE verfügt über eine extrem geringe Partikelbelastung und ist in der Lage, Abgasraten von bis zu 12 CFM (Kubikfuß pro Minute) zu erreichen. Die niedrigste Temperatur, die durch die Ätzkammer erreicht wird, beträgt ca. 10 ° C und bietet einen flexiblen und effizienten Betrieb für eine Vielzahl von Substraten und Anwendungen. 8500PE ist für eine einfache und sichere Bedienung mit mehreren Sicherheitsmerkmalen konzipiert. Zusätzlich zu einem Vakuumanzeigeanschluss zur Beobachtung kann TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE mit einer Fernzugriffskonsole ausgestattet werden, mit der Benutzer Prozessparameter aus der Ferne überwachen und anpassen können. Insgesamt ist TEL 8500PE eine ideale Wahl für Präzisionsätz- und Plasmaveraschungsprozesse. Seine Singleoblatenvereinbarkeit, CNC-Drei-Achsen-Bewegungsregelsystem, und variable Neigung und Substratneigungsfähigkeiten bieten eine aufrichtig umfassende Ätzenfähigkeit. Darüber hinaus sorgen die verbesserten Sicherheitsfunktionen von TOKYO ELECTRON 8500PE für optimale Sicherheit und Schutz während des Betriebs.