Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON 8500PE #9146011 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE ist ein Hochleistungs-automatischer Ätzer und Ascher, der speziell auf die Bedürfnisse des Halbleiterproduktionsmarktes zugeschnitten ist. Mit einer einzigen Kammer ist TEL 8500PE eine vielseitige Maschine, die sowohl Ätz- als auch Ascheprozesse ermöglicht, und dies bei hohen Durchsatzraten und hoher Präzision. TOKYO ELECTRON 8500PE ist mit zwei pneumatisch betätigten Waferkassetten ausgestattet, die bis zu 200 200mm Kassetten oder 150 300mm Kassetten aufnehmen können. Die Waferkassetten werden in die Gerätekammer geladen und die Wafer dann über einen integrierten Handhabungsroboter an das Ätz- oder Aschemodul übergeben. Der Roboter enthält auch Vision und End-Effektor-Systeme, die es ihm ermöglichen, die Wafer auf und vom Ätz- oder Aschemodul genau zu übertragen. Der Ätz- und/oder Aschevorgang wird dann über ein fortgeschrittenes Regelsystem überwacht und gesteuert. Diese Steuereinheit verfügt über eine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche, die eine Echtzeit-Überwachung und Steuerung des Prozesses ermöglicht. Es verfügt auch über eine Vielzahl von Prozessrezepten und Tracking-Fähigkeit, so dass Bediener schnell und einfach einrichten und warten Produktionsprozesse. 8500PE verfügt über eine Vielzahl von Ätz- und Aschwerkzeugen und Gasen, um eine breite Palette von Prozessfähigkeiten bereitzustellen. Es verfügt auch über eine fortschrittliche Abgasrückgewinnungsmaschine, die durch die Rückgewinnung von bis zu 99% der Prozessgase eine verringerte Umweltbelastung ermöglicht. Schließlich ist TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE in der Lage, eine Vielzahl von Wafern wie Silizium, Galliumarsenid und andere zu handhaben. Es verfügt auch über mehrere Heizzonen, die eine Reihe von Prozesstemperaturen ermöglichen, und es kann Wafer bis zu 300mm in der Größe aufnehmen. Insgesamt ist TEL 8500PE ein robuster und leistungsstarker automatischer Ätzer und Ascher, der speziell für den Halbleiterproduktionsmarkt entwickelt wurde. Mit seinem fortschrittlichen Controller-Tool, Prozessvielfalt und Umweltfreundlichkeit ist es gut geeignet, um die modernen Anforderungen der Halbleiterproduktion zu erfüllen.