Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON 8500PE #9158331 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE ist ein Ätzer/Ascher, der in der Herstellung von Halbleiterchips verwendet wird. Es ist für eine breite Palette von Anwendungen konzipiert, einschließlich Resistverdünnung, flache Grabenisolierung (STI), Metallelektrodenbildung, flacher Grabenkontakt (STC) und dielektrische Ätzung. TEL 8500PE ist ein leistungsstarker Ätzer/Ascher, der die PEA-Technologie (Parallel Electron Analogue) verwendet. Dadurch kann eine hohe Ätzgleichmäßigkeit bei hoher Ionenzahldichte und gleichmäßiger Plasmaverteilung über die Substratoberfläche erzeugt werden. Die PEA-Technologie trägt dazu bei, die Ungleichmäßigkeit des Prozesses zu minimieren und bietet höhere Seitenverhältnisse für kritische Ätzschritte durch Richtungs- und Nichtrichtungsätzen. TOKYO ELECTRON 8500PE verfügt über eine hochflexible Prozesskammer, die für eine breite Palette von Substratgrößen und -formen sorgt. Zusätzlich kann die interne Waferstufe zur verbesserten Prozessfähigkeit und Steuerung in verschiedene Positionen bewegt werden. 8500PE ist in der Lage, mehrere Gase gleichzeitig oder unabhängig zu betreiben, so dass es für eine Vielzahl von verschiedenen Ätzanwendungen geeignet ist. Der Gasstrom wird mit dem integrierten Gasstromsystem exakt gesteuert. Die Ätzprozesssteuerung von TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE wird über eine benutzerfreundliche Touchscreen-Benutzeroberfläche verwaltet, die für einen schnellen Produktwechsel zwischen Prozessen optimiert ist. TEL 8500PE verfügt zudem über erweiterte Steuerungsfunktionen wie die Feinabstimmung der Ätzbedingungen in Echtzeit und verschiedene Rezepte für unterschiedliche Anwendungen oder Prozesse. Darüber hinaus speichert die Etch-Datenbank benutzerdefinierte Rezepte und Prozesse zum komfortablen Rückruf und zur Rationalisierung des Ätzprozesses. TOKYO ELECTRON 8500PE verfügt über fortschrittliche Diagnosesysteme und Interlock-Steuerungen zur Erkennung und Minimierung von Prozessausfällen, wodurch eine hohe Prozesssicherheit gewährleistet ist. Es zeichnet sich auch durch eine ausgezeichnete Kühl- und Druckstabilität aus, die ein gleichmäßigeres Ätzprofil ermöglicht. Insgesamt ist 8500PE ein zuverlässiger und effizienter Ätzer/Ascher für die Herstellung einer breiten Palette von Halbleiterbauelementen. Mit seiner hohen Prozessgleichmäßigkeit, flexiblen Prozesssteuerung und dem fortschrittlichen Diagnosesystem ist TEL/TOKYO ELECTRON 8500PE darauf ausgelegt, hervorragende Ergebnisse zu liefern.