Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Certas #9311001 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Certas ist ein Ätzer/Ascher, der in der Waferbearbeitung verwendet wird. Das Gerät ist ein Parallelplatten-Substratätzer und Ascher mit optischer Genauigkeit für die Bearbeitung von Wafern bis 200 mm Durchmesser. Es ist für den Einsatz in einer Vielzahl von Ätz- und Ascheprozessen konzipiert. TEL Certas Drehstufe ist so konzipiert, dass sie den Wafer bei der Bearbeitung mit seiner symmetrischen Form unterstützt und eine gleichmäßige Spannungsverteilung auf den Wafer ermöglicht. Die Drehzahl dieser Stufe ist von 5 U/min bis 300 U/min einstellbar. Die Stufe kann Substrate bis 5 kg Gewicht tragen. Die Mehrplatten-Ätz-/Aschekammer dieser Vorrichtung ist für effektive Plasmaätz- und Aschevorgänge mit insgesamt sechs Platten ausgelegt. Dies ermöglicht die Durchführung unterschiedlichster Prozesse innerhalb derselben Maschine. Das in dieser Kammer erzeugte Plasma wird effizient zur Waferoberfläche transportiert, was eine zuverlässige Ätzrate und Waferreinigung ermöglicht. TOKYO ELECTRON Certas ist auch so konzipiert, dass eine Vielzahl von Prozessgasen in seinen Operationen verwendet werden können. Mit dieser Funktion kann das Gerät mit einer Vielzahl unterschiedlicher Anwendungen wie Standard-Ätz- und Reinigungsverfahren, Photolackätzen und dielektrischem Ätzen eingesetzt werden. Die Möglichkeit, sowohl Standard- als auch neuartige Prozessgase zu verwenden, hilft dem Bediener, optimale Ergebnisse aus der Waferbearbeitung zu erzielen. Das Bedienfeld des Geräts ist bedienerfreundlich gestaltet, mit einfach zu bedienenden Funktionen und grafischer Benutzeroberfläche. Dadurch kann der Bediener schnell und präzise Parameter für seinen Prozess einstellen. Das Gerät verfügt auch über ein integriertes Fehlererkennungssystem, das einen Alarm auslöst, wenn ein anormaler Zustand erkannt wird. Dies hilft dem Bediener, Probleme, die bei der Verarbeitung aufgetreten sind, schnell zu erkennen. Zum Abschluss ist Certas ein Ätzer/Ascher, der Präzision, Zuverlässigkeit und Vielseitigkeit in der Waferbearbeitung bietet. Mit seiner einstellbaren Drehzahl, der Mehrplattenkammer und der Fähigkeit, eine Vielzahl von Prozessgasen zu verarbeiten, ist das Gerät für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet. Das bedienerfreundliche Bedienfeld des Geräts und eingebaute Diagnosesysteme machen es einfach zu bedienen und geben Benutzern Vertrauen in die Leistung des Geräts.