Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Chamber for SCCM #293821279 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELEKTRONENKAMMER FÜR SCCM (alias Ätzer/Ascher) ist eine von TEL entwickelte multifunktionale Ätz- und Ascheeinrichtung. Es wurde entwickelt, um eine präzise, präzise und gleichmäßige Ätzung verschiedener Substrate zu ermöglichen. Es wurde speziell entwickelt, um die strengen Anforderungen der Substrataufbereitung und der hochwertigen lithographischen Verarbeitung zu erfüllen. Die TEL-Kammer für SCCM verfügt über ein integriertes, hochpräzises Ätzkammermodul, das aus einem langlebigen Aluminiumkörper und einem Quarzgehäuse besteht. Es gibt sechs seitliche und nach oben gerichtete Wärmequellen, die unabhängig voneinander gesteuert werden können und eine maximale Temperatur von bis zu 1.000 ° C aufweisen. Dies gewährleistet eine gleichmäßige und effiziente Erwärmung und Kühlung des Substrats. Die Ätzkammer hat zwei Gaseinlässe, wobei Argon, Chlor, Sauerstoff und Stickstoff zur Verfügung stehen, wodurch verschiedene Substrate geätzt werden können. Das System verfügt außerdem über eine fortschrittliche Zeiteinheit, die es ermöglicht, den Ätzzyklus genau zu zeitlich abzustimmen und so die perfekte Ätzung für das gewünschte Material zu gewährleisten. Die Maschine kann sowohl Einzel- als auch Losätzungen durchführen und verfügt über ein automatisches Kalibrierwerkzeug, das die Parameter des gesamten Ätzprozesses kontinuierlich anpasst. Die automatisierte Gasspüleinrichtung ermöglicht es, dass die Ätzkammer während des Betriebs sicher und sauber bleibt. Das Modell verfügt zudem über eine effiziente, mehrstufige Filtrationsausrüstung, die eine saubere Ätzumgebung gewährleistet. Es hat auch eine hochpräzise Lichtintensitätssteuerung, die so programmiert werden kann, dass sie der Lichtumgebung jeder Anwendung entspricht. Dickere Substrate können mit der hochintensiven Wasch- und Trockeneinheit geätzt werden. Darüber hinaus können mit dem SCCM verschiedene Prozessabläufe, wie z.B. chemisches Ätzen, durchgeführt werden, was eine effiziente und präzise Steuerung des Ätzprozesses ermöglicht. Die Maschine kann auch für andere Aktivitäten wie Bondvorbereitung und Rückseitenreinigung verwendet werden. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON Chamber für SCCM ein fortschrittliches Ätz- und Aschewerkzeug, das verschiedene Substrate effizient und präzise ätzen kann. Seine integrierte Ätzkammer, gepaart mit seinem fortschrittlichen Timing-Asset und Gasspülmodell, bietet einen optimalen Prozess, um die perfekte Ätzung für jedes Substrat zu gewährleisten. Darüber hinaus tragen die Lichtstärkeregelung, das Filtersystem und die automatisierte Gasspüleinheit dazu bei, Verschmutzungen zu reduzieren und eine sichere Ätzumgebung zu gewährleisten.