Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Chamber for SCCM #9204386 zu verkaufen

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ID: 9204386
Wafergröße: 12"
12".
TEL/TOKYO ELECTRON Chamber for SCCM ist ein Hochleistungs-Ätzer/Ascher für Ätz- und Ascheprozesse. Diese Kammer ist ideal für die Herstellung von Halbleiterbauelementen, insbesondere in der Mehrschichtfertigung, und wurde in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt. Es ermöglicht eine Prozesssteuerung mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit, von einfachen bis komplexen Ätz-/Ascheprozessen. Die TEL-Kammer für SCCM bietet eine Reihe von Funktionen wie sein Doppelofensystem zum Glühen und Aschen und sein eingebautes Gassystem, das eine genaue und konsistente Gas- und Strömungssteuerung bietet. Diese Kammer verfügt über ein effizientes Mischsystem, das eine effiziente Partikelmanipulation ermöglicht, und verfügt über eine Vielzahl von Funktionen, die auf die Prozess- und Anwendungsanforderungen zugeschnitten sind. Diese Kammer enthält auch eine erweiterte Software-Suite, die eine umfassende Prozesssteuerung und -überwachung ermöglicht. TOKYO ELECTRON Chamber für SCCM bietet auch eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen wie niedrige O2-Gaskonzentrationssensoren und Notabschaltungen, um einen sicheren Betrieb zu gewährleisten. Darüber hinaus ist die Kammer luftdicht und leckfest ausgebildet, was stabile und wiederholbare Operationen ermöglicht. Diese Kammer ist auch mit fortschrittlicher Temperaturregelungstechnologie ausgestattet, die einen präzisen und gleichmäßigen Betrieb über einen erweiterten Bereich ermöglicht, so dass sie für eine Vielzahl von Materialien und Rezepten geeignet ist. Es kann durch die Verwendung von Parameteroptimierungsparametern der Kammer betrieben werden, wodurch 8 Parameter gleichzeitig verwendet werden können. Kammer für SCCM wird in einer Vielzahl von Einstellungen und Anwendungen verwendet, von Photomaske und LCD-Herstellung über SOI und Speichergeräteherstellung. Diese Kammer ist eine zuverlässige und effiziente Ergänzung zu jeder Halbleiterverarbeitungslinie und bietet eine hohe Prozesskontrollgenauigkeit und Wiederholbarkeit.
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