Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Chamber for SCCM #9226603 zu verkaufen

TEL (TOKYO ELECTRON/TE) TEL/TOKYO ELECTRON Chamber for SCCM (Sub-Critical Chemical Mechanical Polishing) ist ein Ätzer/Ascher, der ein chemisch-mechanisches Verfahren zum Polieren und Ätzen von Mikrostrukturen auf Substraten verwendet. Diese fortschrittliche Ausrüstung ermöglicht die Herstellung fortschrittlicher mikrostrukturierter Funktionen mit hoher Präzision und Qualität. TEL/TOKYO ELECTRON/TE TEL Chamber für SCCM hat ein patentiertes Verfahren, das sowohl chemische als auch mechanische Wechselwirkungen verwendet, um Mikrostrukturen auf Substraten zu polieren und zu ätzen. Dabei wird das Zielmaterial auf einer mehrstufigen rotierenden Platte positioniert und das Substrat zunächst über einen Zeitraum mit einer chemischen Lösung behandelt. Anschließend wird das Substrat einer Hochgeschwindigkeits-Polierumgebung ausgesetzt, wobei ein Schleifschlamm durch eine Plattendrehung angetrieben und mit präzisem Druck beaufschlagt wird. Die Schleifaufschlämmung enthält Diamantschleifmittel, die durch einen Dosiermechanismus präzise gesteuert werden. Anschließend erfolgt ein sanftes Ätzverfahren unter Verwendung einer im Spalt zwischen den beiden Plattenebenen gebildeten Opferschicht aus weichem Material. Nach Beendigung des Polierprozesses wird das Substrat einem Spülschritt und anschließend einem Trocknungsschritt ausgesetzt, um eventuelle Rückstände zu entfernen. Um eine überlegene Qualität zu gewährleisten, ist die TEL/TE TOKYO ELECTRON Chamber für SCCM mit einer Reihe fortschrittlicher Funktionen ausgestattet. Dazu gehören: ein Temperatur- und Hydraulikdruckregelsystem für die Präzisionseinstellung der Platte Spin und Druck; einen kontinuierlichen monochromen Monitor zur Prozessstabilisierung; eine fortgeschrittene Bewegungssteuerung für Substratweg und -steuerung; integrierte Gasströmungskanäle und -ventile; ein Teilsystem zur Kontrolle der Zusammensetzung und der Eigenschaften der chemischen Lösungen; und eine Lecksuch- und Überwachungseinheit, um die Sauberkeit der Ätzkammer zu überwachen. Darüber hinaus ist TOKYO ELECTRON/TE Chamber for SCCM so konzipiert, dass Verunreinigungen durch Staub und Partikel mit Hilfe einer Differentialdruckmaschine wirksam verhindert werden. TEL/TOKYO ELECTRON/TE TEL/TOKYO ELECTRON Chamber für SCCM bietet mit seiner präzisen und effizienten Prozesssteuerung und seinen fortschrittlichen Funktionen vorhersagbare und wiederholbare Ergebnisse und ist damit eine ideale Lösung für die Herstellung mikrostrukturierter Merkmale mit hoher Präzision und Qualität. Abgesehen von seiner hohen Zuverlässigkeit und Effizienz ist dieses Tool auch wartungsfrei und bietet eine benutzerfreundliche Bedienoberfläche, die es zu einer idealen Wahl für kleine und große Operationen macht. Darüber hinaus entspricht dieser Ätzer/Ascher vollständig den geltenden internationalen Standards und Richtlinien wie SEMI/ESF und ESD-Schutz.